高溫工作壽命實驗（Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL）測試目的：芯片處于高溫條件下，加入動態信號，并長時間工作，以評估其使用壽命，并確定其可靠性。測試條件：結溫(Tj)≧125℃，電壓Vcc≧Vccmax，測試時間：1000hrs樣品數：77ea/lot,3lots測試讀點：168、500、1000hrs參考規范：、JESD22-A108JESD22-A108B：Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85：METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K：Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74：EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗、老化試驗(OperatingLifeTest)，為利用溫度、電壓加速方式，在短時間試驗內，預估芯片在長時間可工作下的壽命時間(生命周期預估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate)：評估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million)，針對失效模式中的InfantMortality，一般測試低于48小時，車規級芯片需要100%BI測試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife)：評估可使用期的壽命時間-FIT/MTTF，針對失效模式中的Wearout，一般需要測試1000小時，屬于抽樣測試。 TH801智能老化系統，監測數據異常自動報警，實時發現問題并介入分析，可以整體降低30~50%的成本。靜安區HTOL測試機供應商

上海頂策科技有限公司（Topictest）推出的TH801，智能在線監控動態老化設備，可以監控的參數除了整板的電壓，電流，還可以根據需求，監控到老化中每顆芯片的電壓、電流，寄存器數據，時間，頻率等諸多參數，并實時記錄保存成Excel文檔。這樣不僅可以確保每顆芯片都處于正常的老化狀態，保證老化測試的質量，同時還可以清楚地知道具體失效的參數，以及在什么時間點失效等諸多信息，非常有益于失效后的FA分析。另外由于可以監控更多芯片參數，這使得免除ATE回測成為可能，這將大幅度提高老化測試效率，節省更多人力成本！這項技術目前已在對芯片質量要求較高的芯片設計公司廣泛應用。楊浦區國內HTOL測試機上海頂策科技有限公司可靠性測試服務，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。

高效率HTOL自研設備，高質量HTOL品質保障，低成本HTOL測試方案。上海頂策科技有限公司TH801智能一體化老化測試機，自主研發在線實時單顆監測技術，通過監測數據，可以實時發現問題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節省更多時間、FA成本，全程數據記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性；有全程HTOL數據記錄，讓報告更有說服力，下游客戶更放心。可靠性測試事業部提供可靠性測試整體解決方案，包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設備，以及測試方案制定，PCB設計制作，測試試驗，可以滿足各類芯片可靠性測試需求。

本發明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除循環后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進行編譯和擦除循環后，htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小，實際驗證多個型號的閃存產品采用本實施例的方法后，htol可靠性驗證通過，而且測試可靠，使閃存產品較短時間內進入客戶樣品量產階段。綜上所述，本發明所提供的一種閃存htol測試方法，對閃存參考單元進行編譯和擦除循環后，再進行閃存htol可靠性驗證，編譯和擦除循環會在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗證過程存在丟失，進而對空穴在htol測試過程中的丟失形成補償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過，解決了閃存htol測試中讀點失效的問題，提高閃存質量。顯然，本領域的技術人員可以對發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些改動和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包括這些改動和變動在內。上海頂策科技有限公司智能一體化HTOL測試機TH801全程數據記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。

    進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯，包括：在所述源極上施加***編程電壓，在所述漏極上施加第二編程電壓，在所述控制柵上施加第三編程電壓，在所述襯底上施加第四編程電壓；其中，所述***編程電壓小于所述第二編程電壓；所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進一步的，所述***編程電壓的范圍為～0v,所述第二編程電壓的范圍為～，所述第三編程電壓的范圍為8v～10v,所述第四編程電壓的范圍為～-1v。進一步的，編譯過程中的脈沖寬度為100μs～150μs。進一步的，對所述閃存參考單元進行擦除，包括：將所述源極和漏極均懸空，在所述控制柵上施加***擦除電壓，在所述襯底上施加第二擦除電壓；其中，所述***擦除電壓為負電壓，所述第二擦除電壓為正電壓。進一步的，所述***擦除電壓的范圍為-10v～-8v，所述第二擦除電壓的范圍為8v～10v。進一步的，擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯和擦除，循環次數為10次～20次。進一步的，對所述閃存進行htol測試包括：對所述閃存依次進行***時間點讀點、第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。

    TH801智能老化系統，實時監測并記錄環境溫度，確保芯片處于正常HTOL狀態，保證HTOL測試質量。徐匯區HTOL測試機現貨

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芯片HTOL測試如何做到省力省心？上海頂策科技有限公司，提供可靠性測試整體解決方案：可靠性設備，HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定，PCB設計制作，測試試驗，滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬，數字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設計，原理圖設計，PCBlayout加工制作，老化程序開發調試，可靠性測試試驗，出具可靠性報告等全方面服務。自有發明專利的智能HTOL系統，自主研發在線實時單顆監測技術，可靈活配置芯片工作狀態，并施加信號，非常方便HTOLSetup，實時監測并記錄環境溫度，以及每顆芯片電壓，電流，頻率，寄存器狀態等數據，確保芯片處于正常HTOL狀態。靜安區HTOL測試機供應商

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