螺桿真空泵運行時的噪聲主要來源于機械振動、氣體脈動、電機噪聲,需采用綜合控制技術降低噪聲。機械振動控制方面,在設備底座安裝彈簧減震器,減震效率≥90%,減少振動傳遞;轉子進行動平衡校正,平衡精度達到 G1 級別,降低旋轉振動產生的噪聲。氣體脈動控制上,進氣口、排氣口安裝消聲器,消聲器采用抗性與阻性復合結構,對中高頻噪聲的消聲量≥25dB;優化氣道設計,采用平滑過渡的流道,減少氣體湍流產生的脈動噪聲。電機噪聲控制可選用低噪聲電機,噪聲值≤60dB(A),同時在電機外殼包裹隔音棉,進一步吸收噪聲。此外,設備機房可采用隔音墻體設計,墻體加裝隔音板與吸音棉,機房內噪聲可控制在 75dB(A)以下,符合...
干式螺桿真空泵與其他干式泵的性能差異。與爪式真空泵相比,干式螺桿真空泵的抽速范圍更廣(10-1000 vs 10-200 ),但極限壓力略高;與渦旋真空泵相比,干式螺桿真空泵的耐固體顆粒能力更強(可處理粒徑≤10μm 顆粒,渦旋泵*≤5μm),但噪音稍大(75dB vs 65dB);與多級羅茨泵相比,干式螺桿真空泵的壓縮比更高(1000:1 vs 100:1),但轉速更低(6000r/min vs 10000r/min)?;谶@些差異,在選型時需根據工況優先級:大抽速選干式螺桿真空泵,高真空選渦旋泵,耐顆粒選干式螺桿泵,低噪音選渦旋泵。干式螺桿真空泵傳動系統多為 “電機 - 聯軸器 - ...
馬德寶干式螺桿真空泵憑借多項國內**技術,樹立行業技術**。其全流道靜音設計為國內**,通過獨特泵體與雙螺桿流道優化,將噪音控制在 65 分貝以下,解決傳統真空泵噪音高的問題;磁力傳動及永磁變頻全封閉電機技術,徹底消除羅茨泵常見的軸封泄漏現象,電機一級能效更節能環保。此外,鋼襯工程塑料防腐技術的應用,讓泵體既保留金屬強度,又具備工程塑料耐腐蝕性,可直接抽吸化工醫藥行業的腐蝕性氣體,無需額外氣體中和處理,大幅拓寬應用場景。螺桿泵運行時需定期檢查油位(如有)。云南螺桿真空泵推薦廠家少油式螺桿真空泵配備的油霧分離器,**作用是分離排氣中的油霧(粒徑 1-5μm),避免環境污染與油損耗,工作原理包含三...
鋰電池極耳焊接(如激光焊接)工藝中,螺桿真空泵需為焊接區域提供穩定的低真空環境,避免空氣影響焊接質量。首先,需快速建立真空環境,將焊接腔真空度從大氣壓降至 10?2Pa 以下的時間≤2 分鐘,確保焊接效率;其次,真空度穩定性需控制在 ±0.1Pa 范圍內,避免因真空度波動導致激光能量衰減或焊接部位氧化。為保障真空環境,需做好三方面工作:一是真空系統密封,采用金屬密封墊片(如銅墊片),密封面粗糙度 Ra≤0.4μm,漏率≤1×10??Pa?m3/s;二是焊接腔清潔,定期清理焊接產生的金屬粉塵,防止粉塵堵塞氣道或進入泵體;三是設備適配,根據焊接腔容積選擇合適抽速的真空泵,抽速余量預留 30%,確保...
螺桿真空泵的材質選擇直接影響其適用范圍和使用壽命,尤其是在處理腐蝕性氣體的場景中(如化工、光伏行業),耐腐蝕材質的應用至關重要。目前,主流螺桿真空泵的轉子多采用不銹鋼 316L材質,該材質具有優異的耐酸堿、耐氧化性能,能有效抵抗化工生產中常見的鹽酸、硫酸、氨氣等腐蝕性氣體的侵蝕,延長轉子的使用壽命。泵殼內壁則通常采用環氧樹脂涂層或聚四氟乙烯襯里,進一步增強耐腐蝕能力,同時減少氣體在泵內的殘留和吸附。對于處理強腐蝕性氣體(如氟化物)的特殊場景,部分廠家還會采用哈氏合金等**耐腐蝕材質,雖然成本有所提升,但能確保設備在惡劣工況下穩定運行,避免因材質腐蝕導致的設備故障和生產中斷。螺桿真空泵運行時振動...
干式螺桿真空泵的安全注意事項明確:電氣安全方面,泵需接地(接地電阻≤4Ω),避免漏電;電機需加裝過載保護(電流設定為額定值 110%),防止燒毀;禁止在潮濕環境(相對濕度>85%)或有易燃易爆氣體的環境中未采取防護措施開機。機械安全方面,開機時禁止打開泵腔端蓋,防止轉子旋轉傷人;拆機維護前需切斷電源并掛牌警示,待轉子完全停止(≥5 分鐘)后操作;禁止在無冷卻的情況下長時間運行,防止設備過熱損壞。氣體安全方面,抽除腐蝕性氣體時需在進氣端加裝氣體中和裝置(如抽除酸性氣體加堿液中和塔),抽除易燃易爆氣體時需采用防爆電機(Ex d IIB T4),并在排氣端加裝阻火器,避免火花引發。大型化工項目需多臺...
螺桿真空泵的抽氣性能受進氣壓力影響***。在粗真空階段(10?-103Pa),抽速隨壓力降低快速上升,壓力降至 103Pa 時達到額定抽速;在低真空階段(103-10?1Pa),抽速保持穩定(波動≤3%);在高真空階段(10?1-10?3Pa),因泄漏量占比增大,抽速逐漸下降(壓力 10?3Pa 時抽速約為額定值的 80%)?;诖?,在實際應用中,若需達到以下的高真空,需將干式螺桿真空泵與高真空泵(如分子泵)串聯,形成機組:干式螺桿泵作為前級泵,將壓力降至 10?1Pa,再由分子泵抽至目標真空度。這種機組組合可兼顧大抽速(干式螺桿泵)和高真空(分子泵),適配半導體芯片制造、真空鍍膜等高精度工藝...
干式螺桿真空泵的傳動系統設計直接影響運行效率。該系統多采用“電機-聯軸器-轉子”直聯結構,減少皮帶傳動的損耗(直聯傳動效率≥95%,皮帶傳動效率約85%),且聯軸器需具備一定緩沖能力,吸收轉子旋轉時的微小振動,避免電機過載。電機選型需匹配泵的功率需求,如抽速50m3/h的泵適配11kW電機,抽速200m3/h適配37kW電機,電機防護等級需達到IP54,防止粉塵、水汽進入。此外,泵的控制系統多集成PLC模塊,可實現自動啟停、過載保護、溫度監控(泵腔溫度≥80℃時報警)、壓力反饋(抽速自動調節)等功能,適配自動化生產線的無人值守需求,降低人工操作強度。設備運行時電流異常需停機檢查。浙江液環螺桿真...
在 “雙碳” 目標下,馬德寶干式螺桿真空泵以節能降耗特性,成為工業綠色轉型的重要助力。相較于傳統滑閥泵,其 11KW 電機每年可節省電能約 3 萬度(按年運行 8000 小時計算),無油煙排放減少大氣污染,無油污染降低廢水處理成本。同時,設備運行時振動小、噪音低,改善車間作業環境,符合現代工業對 “綠色生產、人文車間” 的需求。從化工醫藥的清潔生產,到電子行業的精密制造,馬德寶螺桿真空泵不僅為企業提升生產效率,更以可持續設計助力行業實現 “高效生產與環保責任” 的雙贏。光伏鍍膜用螺桿泵需高穩定性。羅茨螺桿真空泵說明書雙螺桿轉子為**部件,型線多采用 “擺線 - 漸開線” 組合設計,通過高精度同...
為滿足工藝真空度低于10?3Pa的需求,單一真空泵難以實現高效抽氣,需采用“螺桿泵+羅茨泵”的組合真空系統,通過兩者協同發揮優勢。設計該系統時,需重點把控三點關鍵匹配,以保障設備穩定運行、提升真空效率并延長使用壽命。一是抽速匹配。羅茨泵的抽速需設定為螺桿泵的2-3倍,這是因為若羅茨泵抽速低于此范圍,會導致氣體在兩泵間的連接管路內堆積,造成抽氣瓶頸,降低整體系統效率;若抽速過高,螺桿泵無法及時將氣體輸送至羅茨泵,會使羅茨泵陷入“過載抽氣”狀態,引發電機過熱,嚴重時還會損壞泵體內部的轉子與密封部件,直接影響真空性能。二是入口壓力匹配。羅茨泵在高壓力環境下運行易出現故障,因此必須在兩泵之...
在一些對真空度要求極高或抽氣工況復雜的場景中,單一螺桿真空泵往往難以滿足需求,此時需將螺桿真空泵與其他類型的真空泵組合使用,形成高效的真空系統。常見的組合方案包括 “螺桿真空泵 + 羅茨真空泵”,羅茨真空泵具有抽氣速率大、壓縮比高的特點,但自身無法直接從大氣壓開始抽氣,需以螺桿真空泵作為前級泵,先將系統真空度抽至 10?1~10?2Pa,再由羅茨真空泵進一步提升至 10??~10??Pa,該組合方案廣泛應用于半導體晶圓制造、真空鍍膜等領域。另一種組合方案是 “螺桿真空泵 + 擴散泵”,擴散泵能達到極高的真空度(10??~10??Pa),但需依賴前級泵提供預真空環境,螺桿真空泵可快速實現預真空,...
航空航天部件(如衛星姿態控制系統、發動機渦輪葉片)測試需螺桿真空泵提供 “超高真空”“高穩定性”“低振動” 的模擬環境,具體要求包括四項**指標。一是極限真空度,需達到 10??Pa 以下,滿足太空真空環境模擬(地球軌道真空度約 10??Pa),可通過雙級螺桿泵串聯實現;二是真空度穩定性,連續運行 1000 小時內,真空度波動誤差≤±0.05Pa/h,確保測試數據重復性;三是設備振動值,運行時振動速度≤2.0mm/s,避免振動傳遞至測試部件(如精密傳感器)影響性能檢測;四是長周期運行能力,需連續穩定運行≥1000 小時,減少測試中斷(單次測試成本超百萬元)。為滿足要求,設備需采用無接觸式轉子密...
光伏電池片鍍膜工藝(如 PECVD)需螺桿真空泵維持穩定的中高真空環境(1-10Pa),真空度波動會導致膜層厚度不均,影響電池轉換效率??刂萍夹g**包括:一是采用雙級壓力控制,一級壓力傳感器監測泵入口壓力,二級傳感器監測鍍膜腔壓力,通過 PLC 實現閉環控制;二是選用高精度壓力傳感器,測量精度達 ±0.1Pa,響應時間<100ms,確保壓力信號實時反饋;三是優化抽氣曲線,根據鍍膜工藝階段(抽真空、沉積、放氣)預設抽速,避免壓力驟升驟降。廠家為某光伏企業設計的控制系統,在 PERC 電池鍍膜工藝中,將真空度波動控制在 ±0.3Pa 以內,膜層厚度偏差從 ±5% 降至 ±2%,電池轉換效率平均提升...
在半導體芯片制造過程中,真空環境是保障工藝精度和產品質量的關鍵,螺桿真空泵憑借其***的潔凈性和穩定性,成為該領域的**設備之一。在晶圓刻蝕工藝中,需要將反應腔室抽至極高真空度(通常達到 10?3~10??Pa),以避免空氣中的雜質氣體與刻蝕氣體發生不良反應,影響刻蝕圖案的精度。螺桿真空泵能快速實現高真空狀態,且無油蒸氣產生,有效防止晶圓表面被油污污染,保障芯片電路的完整性。此外,在薄膜沉積、離子注入等環節,它也能精細控制真空度的穩定性,減少工藝波動對芯片性能的影響。隨著半導體芯片向更小制程(如 3nm、2nm)發展,對真空泵的抽氣速率、真空度控制精度要求更高,螺桿真空泵通過不斷優化轉子結構和...
食品醫藥行業對生產設備的衛生標準和合規性要求極為嚴格,螺桿真空泵在該領域的應用需滿足多項國際和國內標準。首先,在結構設計上,設備需采用無死角、易清潔的設計理念,泵體內部避免出現凹陷、縫隙等易積污的結構,便于日常清潔和消毒,防止微生物滋生。其次,與物料或氣體接觸的部件(如轉子、泵殼內壁、進氣 / 排氣管道)需符合食品級或醫藥級標準,常用材質包括 316L 不銹鋼、食品級橡膠密封件等,且所有材質需通過 FDA(美國食品藥品監督管理局)或 EU 10/2011(歐盟食品接觸材料法規)認證。此外,設備還需具備完善的清潔滅菌功能,部分**機型配備在線清洗(CIP)和在線滅菌(SIP)系統,可通過高溫蒸汽...
在工業生產能耗成本不斷攀升的背景下,螺桿真空泵的節能特性成為企業選型的重要考量因素。與傳統的滑閥真空泵、羅茨真空泵相比,螺桿真空泵采用高效的容積式抽氣結構,電機運行時的能量轉化效率更高,在相同抽氣速率下,其功率消耗通??山档?0%~30% 。此外,許多新型螺桿真空泵配備了變頻調速系統,能根據實際真空度需求自動調節電機轉速,避免設備在滿負荷狀態下持續運行造成的能源浪費。例如,在食品包裝行業,當真空包裝機完成一批產品包裝后,真空度需求降低,變頻系統可自動降低電機轉速,此時能耗*為滿負荷運行時的 50% 左右。長期來看,節能特性不僅能為企業大幅降低電費支出,還能減少設備的散熱損耗,延長電機等**部件...
鋰電池極耳焊接(如激光焊接)工藝中,螺桿真空泵需為焊接區域提供穩定的低真空環境,避免空氣影響焊接質量。首先,需快速建立真空環境,將焊接腔真空度從大氣壓降至 10?2Pa 以下的時間≤2 分鐘,確保焊接效率;其次,真空度穩定性需控制在 ±0.1Pa 范圍內,避免因真空度波動導致激光能量衰減或焊接部位氧化。為保障真空環境,需做好三方面工作:一是真空系統密封,采用金屬密封墊片(如銅墊片),密封面粗糙度 Ra≤0.4μm,漏率≤1×10??Pa?m3/s;二是焊接腔清潔,定期清理焊接產生的金屬粉塵,防止粉塵堵塞氣道或進入泵體;三是設備適配,根據焊接腔容積選擇合適抽速的真空泵,抽速余量預留 30%,確保...
螺桿真空泵變頻控制系統基于 “按需供能” 原理工作,**由變頻器、壓力傳感器與 PLC 控制器組成。壓力傳感器實時監測系統真空度,當真空度達到設定值(如 10Pa)時,PLC 控制器發送信號給變頻器,降低電機轉速(從 3000rpm 降至 1500-2000rpm);當真空度因泄漏等因素上升時,變頻器自動提升轉速,維持真空穩定。該系統的節能效果體現在兩方面:一是運行階段,非滿負荷工況下能耗降低 30%-50%,例如在半導體光刻工藝中,設備平均負載率 60%,年耗電量較定速設備減少約 8000kWh;二是啟動階段,軟啟動功能避免電機啟動時的電流沖擊(啟動電流從額定電流的 6-8 倍降至 1.5 ...
鋰電池干燥工藝對螺桿真空泵的**要求是 “低水分殘留” 與 “抗粉塵污染”,需從三方面進行定制化設計。一是進氣結構優化,采用斜切式進氣口搭配前置過濾裝置,攔截正極材料粉塵(如三元材料顆粒),避免進入泵腔造成轉子磨損;二是腔體表面處理,內壁采用特氟龍涂層,降低鋰鹽(如 LiPF6)殘留附著,減少清潔頻率;三是抽氣曲線適配,根據干燥階段調整抽速:升溫階段采用低抽速(50-100m3/h)避免物料飛濺,恒溫階段切換高抽速(300-500m3/h)加速水分排出。適配后的設備可將電池極片含水量控制在 50ppm 以下,且在連續運行 300 小時后,泵腔清潔周期延長至 15 天,滿足鋰電池規?;a需求。...
食品真空包裝工藝中,螺桿真空泵的衛生設計需符合食品接觸材料安全標準,避免對食品造成污染。首先,設備與氣體接觸的部件需采用食品級不銹鋼材質(如 304 不銹鋼),表面進行電解拋光處理,粗糙度 Ra≤0.8μm,無死角、無凹陷,便于清潔,防止食品殘渣堆積滋生細菌。其次,密封結構需采用食品級硅橡膠,無毒無味,符合 FDA 認證要求,避免密封件老化釋放有害物質;設備外殼采用防水設計,防護等級達到 IP54,可直接用水沖洗,方便車間清潔消毒。此外,設備需設置防油污裝置,若為油潤滑型泵,需配備高效油霧分離器,確保排氣中無油霧污染食品包裝環境;對于高潔凈需求的食品(如熟食、糕點),建議選用無油螺桿真空泵,從...
食品真空包裝工藝中,螺桿真空泵的衛生設計需符合食品接觸材料安全標準,避免對食品造成污染。首先,設備與氣體接觸的部件需采用食品級不銹鋼材質(如 304 不銹鋼),表面進行電解拋光處理,粗糙度 Ra≤0.8μm,無死角、無凹陷,便于清潔,防止食品殘渣堆積滋生細菌。其次,密封結構需采用食品級硅橡膠,無毒無味,符合 FDA 認證要求,避免密封件老化釋放有害物質;設備外殼采用防水設計,防護等級達到 IP54,可直接用水沖洗,方便車間清潔消毒。此外,設備需設置防油污裝置,若為油潤滑型泵,需配備高效油霧分離器,確保排氣中無油霧污染食品包裝環境;對于高潔凈需求的食品(如熟食、糕點),建議選用無油螺桿真空泵,從...
當螺桿真空泵用于處理含粉塵氣體(如化工粉體輸送、金屬冶煉)時,粉塵進入泵體易造成轉子磨損、間隙增大,需設計多級前置過濾系統。一級過濾采用旋風分離器,利用離心力分離粒徑≥10μm 的大顆粒粉塵,分離效率可達 90%;二級過濾選用覆膜濾筒,過濾精度達 1μm,攔截細小粉塵顆粒,同時具備反吹清灰功能,通過脈沖壓縮空氣定期清理濾筒表面積塵,避免堵塞;三級過濾為金屬燒結網,進一步過濾殘留的微塵,確保進入泵體的氣體含塵量≤0.1mg/m3。此外,過濾系統需設置壓差監測裝置,當濾芯堵塞導致壓差超過 0.03MPa 時,自動報警提醒更換。某粉體加工廠采用該過濾設計后,螺桿真空泵的轉子磨損周期從 8000 小時...
馬德寶LGB150W 干式螺桿真空泵的極限真空可達 1Pa,抽氣速率穩定保持 150L/S,峰值達 155L/S;搭載 11KW 永磁全封閉水冷電機,能耗較傳統泵降低 27%,且運行噪音嚴格控制在 65 分貝以下,遠低于行業平均水平。在***壓力 10000Pa 真空度區間,變頻運行狀態下抽氣速率比 H150 滑閥泵高 10%,軸功率始終小于 11KW,同時進氣口標配粉塵過濾器,有效應對含少量粉塵的復雜工況,兼顧高效與耐用。依托無油污染、耐腐蝕、高真空度的**優勢,馬德寶干式螺桿真空泵適配多行業關鍵工藝。螺桿真空泵在半導體刻蝕中可處理 Cl?、F?氣體,食品凍干中保證無菌環境。液環螺桿真空泵廠...
螺桿真空泵的涂層厚度控制對性能至關重要。涂層過?。ǎ?μm)會導致防護不徹底,轉子基體易受腐蝕或磨損;涂層過厚(>10μm)會增加轉子重量,增大電機負荷,且易產生內應力導致涂層剝落。因此,制備過程中需采用 “在線監控” 技術:磁控濺射法通過控制濺射功率(100-300W)和時間(30-60 分鐘)調節厚度,每 5 分鐘用膜厚儀(精度 0.1μm)測量一次;化學氣相沉積(CVD)法通過控制反應氣體流量(100-200sccm)和溫度(800-1000℃)調節厚度,每 10 分鐘取樣測量。此外,涂層厚度需均勻,同一轉子表面的厚度差≤1μm,避免局部過薄或過厚,確保整體性能一致。適配光伏行業鍍膜工藝...
科學的維護保養是確保螺桿真空泵長期穩定運行的關鍵,合理的維護周期和方法能有效減少設備故障發生率。日常維護方面,操作人員需每天檢查設備的運行狀態,包括電機溫度(正常應低于 80℃)、軸承溫度(不超過 70℃)、真空度穩定性以及有無異常噪音或泄漏。潤滑油的更換是**維護環節,一般情況下,礦物油類潤滑油需每 3000~4000 小時更換一次,合成潤滑油可延長至 6000~8000 小時,更換時需徹底清理油箱內的殘留油污,避免新舊油混合影響潤滑效果。每半年需對螺桿轉子進行一次檢查,查看轉子嚙合間隙是否正常(正常間隙應在 0.1~0.3mm 之間),若間隙過大,需及時調整或更換轉子,防止抽氣效率下降。每...
在工業生產能耗成本不斷攀升的背景下,螺桿真空泵的節能特性成為企業選型的重要考量因素。與傳統的滑閥真空泵、羅茨真空泵相比,螺桿真空泵采用高效的容積式抽氣結構,電機運行時的能量轉化效率更高,在相同抽氣速率下,其功率消耗通??山档?0%~30% 。此外,許多新型螺桿真空泵配備了變頻調速系統,能根據實際真空度需求自動調節電機轉速,避免設備在滿負荷狀態下持續運行造成的能源浪費。例如,在食品包裝行業,當真空包裝機完成一批產品包裝后,真空度需求降低,變頻系統可自動降低電機轉速,此時能耗*為滿負荷運行時的 50% 左右。長期來看,節能特性不僅能為企業大幅降低電費支出,還能減少設備的散熱損耗,延長電機等**部件...
螺桿真空泵振動超標(通常指振動值>2.8mm/s)會導致密封件損壞、管路松動,主要原因有四類。一是安裝問題:設備底座水平度誤差超 0.1mm/m,或地腳螺栓未均勻緊固(扭矩偏差>10%),導致運行時產生共振;二是轉子失衡:轉子表面附著雜質(如粉塵、結垢),或長期運行后出現磨損,導致動平衡精度下降(超 G6.3 級);三是軸承故障:軸承磨損(徑向游隙超 0.05mm)或潤滑脂失效,運行時產生異常振動;四是管路匹配不當:進氣 / 排氣管路直徑過小(流速>20m/s)或管路支撐不足,導致氣流脈動引發振動。解決方法對應為:用水平儀校準底座(誤差≤0.05mm/m),按規定扭矩緊固地腳螺栓;拆解轉子進行...
螺桿真空泵的材質選擇直接影響其適用范圍和使用壽命,尤其是在處理腐蝕性氣體的場景中(如化工、光伏行業),耐腐蝕材質的應用至關重要。目前,主流螺桿真空泵的轉子多采用不銹鋼 316L材質,該材質具有優異的耐酸堿、耐氧化性能,能有效抵抗化工生產中常見的鹽酸、硫酸、氨氣等腐蝕性氣體的侵蝕,延長轉子的使用壽命。泵殼內壁則通常采用環氧樹脂涂層或聚四氟乙烯襯里,進一步增強耐腐蝕能力,同時減少氣體在泵內的殘留和吸附。對于處理強腐蝕性氣體(如氟化物)的特殊場景,部分廠家還會采用哈氏合金等**耐腐蝕材質,雖然成本有所提升,但能確保設備在惡劣工況下穩定運行,避免因材質腐蝕導致的設備故障和生產中斷。半導體設備配套螺桿泵...
在半導體芯片制造過程中,真空環境是保障工藝精度和產品質量的關鍵,螺桿真空泵憑借其***的潔凈性和穩定性,成為該領域的**設備之一。在晶圓刻蝕工藝中,需要將反應腔室抽至極高真空度(通常達到 10?3~10??Pa),以避免空氣中的雜質氣體與刻蝕氣體發生不良反應,影響刻蝕圖案的精度。螺桿真空泵能快速實現高真空狀態,且無油蒸氣產生,有效防止晶圓表面被油污污染,保障芯片電路的完整性。此外,在薄膜沉積、離子注入等環節,它也能精細控制真空度的穩定性,減少工藝波動對芯片性能的影響。隨著半導體芯片向更小制程(如 3nm、2nm)發展,對真空泵的抽氣速率、真空度控制精度要求更高,螺桿真空泵通過不斷優化轉子結構和...
干式螺桿真空泵被明確歸為干式容積真空泵范疇,其**設計原則是 “無油清潔”—— 抽氣流道(泵腔、轉子間隙等)內不使用任何油類密封或潤滑液體,排氣口可直接與大氣連通實現連續排氣,徹底解決了傳統油封泵的油污染問題。作為非接觸型干式真空泵,轉子與泵腔、轉子間*保留 0.1-0.5mm 微小間隙,既避免機械摩擦,又減少氣體泄漏。其工作壓力覆蓋大氣壓至 ,適配含腐蝕性蒸氣(如半導體工業的氟化物氣體)、可凝性溶劑(如化工的乙醇蒸氣)及少量固體顆粒的工況,是真空技術向清潔化、精密化發展的關鍵設備之一。螺桿泵運行時需定期檢查油位(如有)。湖南干式無油螺桿真空泵推薦廠家螺桿真空泵振動超標(通常指振動值>2.8...