面向半導體實驗室研發場景,國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手。產品尺寸可定制至 10cm×10cm,適配小規格晶圓與實驗樣本的加熱需求,溫度調節范圍覆蓋室溫至 500℃,**小調節精度達 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合,控溫穩定性達 ±0.5℃,滿足材料研發中對溫度參數的精細控制。設備支持 USB 數據導出功能,可實時記錄溫度變化曲線,便于實驗數據追溯與分析。整體采用便攜式設計,重量* 1.5kg,且具備過熱保護功能,當溫度超過設定閾值時自動斷電,為半導體新材料研發、工藝參數優化等實驗工作提供可靠溫控工具。精確穩定溫度環境,提升產品質量一致性,是關鍵工藝保障。廣東晶圓...
電控晶圓加熱盤:半導體工藝的準確溫控重點。無錫國瑞熱控的電控晶圓加熱盤,以創新結構設計解釋半導體制造的溫控難題。其底盤內置螺旋狀發熱電纜與均溫膜,通過熱量傳導路徑優化,使加熱面均溫性達到行業高標準,確保晶圓表面溫度分布均勻,為光刻膠涂布等關鍵工藝提供穩定環境。搭配高精度溫度傳感器與限溫開關,溫度波動可控制在極小范圍,適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓需求。設備采用卡接組件連接上盤與底盤,通過轉盤驅動齒輪結構實現快速拆裝,大幅降低檢修維護的停機時間,完美契合半導體量產線的高效運維需求。多重安全保護機制,過溫過載自動防護,讓您使用更安心放心。湖南加熱盤定制面向半導體新材料研發場景,國瑞熱控高...
針對半導體載板制造中的溫控需求,國瑞熱控**加熱盤以高穩定性適配載板鉆孔、電鍍等工藝。采用不銹鋼基材經硬化處理,表面硬度達 HRC50 以上,耐受載板加工過程中的機械沖擊無變形。加熱元件采用蛇形分布設計,加熱面溫度均勻性達 ±1℃,溫度調節范圍 40℃-180℃,適配載板預加熱、樹脂固化等環節。配備真空吸附系統,可牢固固定不同尺寸載板(50mm×50mm 至 300mm×300mm),避免加工過程中位移導致的精度偏差。與深南電路、興森快捷等載板廠商合作,支持 BT 樹脂、玻璃纖維等不同材質載板加工,為 Chiplet 封裝、扇出型封裝提供高質量載板保障。工業級耐用加熱盤,耐腐蝕抗沖擊,適應嚴苛...
國瑞熱控針對硒化銦等二維半導體材料制備需求,開發**加熱盤適配 “固 - 液 - 固” 相變生長工藝。采用高純不銹鋼基體加工密封腔體,內置銦原子蒸發溫控模塊,可精細控制銦蒸汽分壓,確保硒與銦原子比穩定在 1:1。加熱面溫度均勻性控制在 ±0.5℃,升溫速率可低至 0.5℃/ 分鐘,為非晶薄膜向高質量晶體轉化提供穩定熱環境。設備支持 5 厘米直徑晶圓級制備,配合惰性氣體保護系統,避免材料氧化,與北京大學等科研團隊合作驗證,助力高性能晶體管陣列構建,其電學性能指標可達 3 納米硅基芯片的 3 倍。精確穩定溫度環境,提升產品良率,助力降本增效。嘉定區半導體晶圓加熱盤廠家國瑞熱控氮化鋁陶瓷加熱盤以 9...
國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構,表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm,減少光刻膠涂布缺陷。加熱面劃分 6 個**溫控區域,通過仿真優化的加熱元件布局,使溫度均勻性達 ±0.5℃,避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均。溫度調節范圍覆蓋 60℃至 150℃,升溫速率 10℃/ 分鐘,搭配無接觸紅外測溫系統,實時監測晶圓表面溫度并動態調節。設備兼容 6 英寸至 12 英寸光刻機配套需求,與 ASML、尼康等設備的制程參數匹配,為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境。大小功率齊全覆蓋廣,靈活匹配實驗裝置與工業設備需求。陜西半導體加熱...
國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構,表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm,減少光刻膠涂布缺陷。加熱面劃分 6 個**溫控區域,通過仿真優化的加熱元件布局,使溫度均勻性達 ±0.5℃,避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均。溫度調節范圍覆蓋 60℃至 150℃,升溫速率 10℃/ 分鐘,搭配無接觸紅外測溫系統,實時監測晶圓表面溫度并動態調節。設備兼容 6 英寸至 12 英寸光刻機配套需求,與 ASML、尼康等設備的制程參數匹配,為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境。加熱盤及配套一站式,省時省心,長期可信賴供應商。安徽陶瓷加熱盤非標...
針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構,導熱墊層硬度 Shore A 30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃,控溫精度 ±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫 5℃-10℃,保溫 10-30 分鐘),緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統,避免加熱過程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上,提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。密封式設計防潮防塵耐腐蝕,適用...
針對碳化硅襯底生長的高溫需求,國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術,**溫度梯度可控性差的行業難題。加熱盤主體選用耐高溫石墨基材,表面噴涂碳化硅涂層,在 2200℃高溫下仍保持結構穩定,熱導率達 180W/mK,適配 PVT 法、TSSG 法等主流生長工藝。內部劃分 12 個**溫控區域,每個區域控溫精度達 ±2℃,通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率,助力 8 英寸碳化硅襯底量產。設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構,在 10??Pa 真空環境下無雜質釋放,與晶升股份等設備廠商聯合調試適配,使襯底生產成本較進口方案降低 30% 以上,為新能源汽車、5G 通信等領域提供**材料支撐??焖俳桓?..
面向柔性半導體基板(如聚酰亞胺基板)加工需求,國瑞熱控**加熱盤以柔性貼合設計適配彎曲基板。采用薄型不銹鋼加熱片(厚度 0.2mm)與硅膠導熱層復合結構,可隨柔性基板彎曲(彎曲半徑**小 5mm)而無結構損壞,加熱面溫度均勻性達 ±1.5℃,溫度調節范圍 50℃-250℃,適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝。配備真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加熱過程中褶皺導致的工藝缺陷。與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作,支持柔性 OLED 驅動芯片的制程加工,為柔性電子設備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障。嚴格老化測試檢驗,確保產品零缺陷,品質保證。河北晶圓級陶瓷加熱盤定制針對化學氣相沉積工藝的復...
國瑞熱控針對硒化銦等二維半導體材料制備需求,開發**加熱盤適配 “固 - 液 - 固” 相變生長工藝。采用高純不銹鋼基體加工密封腔體,內置銦原子蒸發溫控模塊,可精細控制銦蒸汽分壓,確保硒與銦原子比穩定在 1:1。加熱面溫度均勻性控制在 ±0.5℃,升溫速率可低至 0.5℃/ 分鐘,為非晶薄膜向高質量晶體轉化提供穩定熱環境。設備支持 5 厘米直徑晶圓級制備,配合惰性氣體保護系統,避免材料氧化,與北京大學等科研團隊合作驗證,助力高性能晶體管陣列構建,其電學性能指標可達 3 納米硅基芯片的 3 倍。表面硬度強化處理,耐磨耐刮擦,保持長期美觀實用。刻蝕晶圓加熱盤廠家電控晶圓加熱盤:半導體工藝的準確溫控...
針對原子層沉積工藝對溫度的嚴苛要求,國瑞熱控 ALD **加熱盤采用多分區溫控設計,通過仿真優化加熱絲布局,確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標準。設備溫度調節范圍覆蓋室溫至 600℃,升溫速率可達 25℃/ 分鐘,搭配鉑電阻傳感器實現 ±0.1℃的控溫精度,滿足 ALD 工藝中前驅體吸附與反應的溫度窗口需求。采用氮化鋁陶瓷基底與密封結構,在真空環境下無揮發性物質釋放,且能抵御反應腔體內腐蝕性氣體侵蝕。適配 8 英寸至 12 英寸晶圓規格,通過標準化接口與拓荊、中微等廠商的 ALD 設備無縫兼容,為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障。靈活功率配置可選,滿足不同溫度需求,應用范圍廣泛多樣。安徽...
借鑒晶圓鍵合工藝的技術需求,國瑞熱控鍵合**加熱盤創新采用真空吸附與彈簧壓塊復合結構,通過彈簧壓力限制加熱平臺受熱膨脹,高溫下表面平整度誤差控制在 0.02mm 以內。加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復合基材,兼具低熱膨脹系數與高導熱性,溫度均勻性達 ±1.5℃,適配室溫至 450℃的鍵合溫度需求。底部設計雙層隔熱結構,***層阻隔熱量向下傳導,第二層快速散熱避免設備腔體溫升過高。配備精細壓力控制模塊,可根據鍵合類型調整吸附力,在硅 - 硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密,提升鍵合良率。熱解決方案伙伴,深入探討共同優化工藝熱管理。蘇州晶圓鍵合加熱盤定制國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統,...
國瑞熱控 8 英寸半導體加熱盤聚焦成熟制程需求,以高性價比與穩定性能成為中低端芯片制造的推薦。采用鋁合金基體經陽極氧化處理,表面平整度誤差小于 0.03mm,加熱面溫度均勻性控制在 ±2℃以內,滿足 65nm 至 90nm 制程的溫度要求。內部采用螺旋狀鎳鉻加熱絲,熱效率達 85% 以上,升溫速率 15℃/ 分鐘,工作溫度上限 450℃,適配 CVD、PVD 等常規工藝。設備配備標準真空吸附接口與溫控信號端口,可直接替換 ULVAC、Evatec 等國際品牌同規格產品,安裝無需調整現有生產線布局。通過 1000 小時高溫老化測試,故障率低于 0.1%,為功率器件、傳感器等成熟制程芯片制造提供穩...
針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構,導熱墊層硬度 Shore A 30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃,控溫精度 ±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫 5℃-10℃,保溫 10-30 分鐘),緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統,避免加熱過程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上,提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。寬泛工作溫度范圍,滿足低溫烘烤...
針對車載半導體高可靠性需求,國瑞熱控測試加熱盤適配 AEC-Q100 標準。采用**級鋁合金基材,通過 - 55℃至 150℃高低溫循環測試 5000 次無變形,加熱面平整度誤差小于 0.03mm。溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 200℃,升降溫速率達 30℃/ 分鐘,可模擬車載芯片在極端環境下的工作狀態。配備 100 組可編程溫度曲線,支持持續 1000 小時老化測試,與比亞迪半導體、英飛凌等企業適配,通過溫度沖擊、濕熱循環等可靠性驗證,為新能源汽車電控系統提供質量保障。升溫迅速表面溫差小,過熱保護安全耐用,為設備護航。靜安區晶圓級陶瓷加熱盤國瑞熱控刻蝕工藝加熱盤,專為半導體刻蝕環節的精細溫...
國瑞熱控 12 英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計,采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材,通過多道精密研磨工藝,使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內,完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內部采用分區式加熱元件布局,劃分 8 個**溫控區域,配合高精度鉑電阻傳感器,實現 ±0.8℃的控溫精度,滿足 7nm 至 14nm 制程對溫度均勻性的嚴苛要求。設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式,適配不同類型的反應腔結構,升溫速率達 20℃/ 分鐘,工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃,可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝。通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作,已實現與國產 12 英寸晶圓生...
國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件,實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能,可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線,支持多臺加熱盤同時監控,方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能,可自動記錄加熱過程中的溫度參數,存儲時間長達 1 年,便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能,當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時,自動發出聲光報警并記錄異常信息,提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統,通過以太網與加熱盤控制系統連接,安裝調試便捷,適配國瑞全系列半導體加熱盤,為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。重視客戶反饋,持續...
針對原子層沉積工藝對溫度的嚴苛要求,國瑞熱控 ALD **加熱盤采用多分區溫控設計,通過仿真優化加熱絲布局,確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標準。設備溫度調節范圍覆蓋室溫至 600℃,升溫速率可達 25℃/ 分鐘,搭配鉑電阻傳感器實現 ±0.1℃的控溫精度,滿足 ALD 工藝中前驅體吸附與反應的溫度窗口需求。采用氮化鋁陶瓷基底與密封結構,在真空環境下無揮發性物質釋放,且能抵御反應腔體內腐蝕性氣體侵蝕。適配 8 英寸至 12 英寸晶圓規格,通過標準化接口與拓荊、中微等廠商的 ALD 設備無縫兼容,為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障。獨特加熱元件設計,熱效率大幅提升,節能環保同時保證長期穩定...
國瑞熱控針對半導體量子點制備需求,開發**加熱盤適配膠體化學合成工藝。采用聚四氟乙烯密封腔體與不銹鋼加熱基體復合結構,耐有機溶劑腐蝕,且無金屬離子溶出污染量子點溶液。內置高精度溫度傳感器,測溫精度達 ±0.1℃,溫度調節范圍 25℃-300℃,支持 0.1℃/ 分鐘的慢速升溫,為量子點成核、生長提供精細熱環境。配備磁力攪拌協同系統,使溶液溫度與攪拌速率同步可控,確保量子點尺寸均一性(粒徑偏差小于 5%)。與中科院化學所等科研團隊合作,成功制備 CdSe、PbS 等多種量子點,其熒光量子產率達 80% 以上,為量子點顯示、生物成像等領域提供**制備設備。多重安全保護機制,過溫過載自動防護,讓您使...
針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求,國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構,導熱墊層硬度 Shore A 30,可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸,確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃,控溫精度 ±0.8℃,支持階梯式升溫(每階段升溫 5℃-10℃,保溫 10-30 分鐘),緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統,避免加熱過程中晶圓表面氧化,且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作,使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上,提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。嚴格老化測試檢驗,確保產品零缺...
針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求,國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質,經電解拋光與鈍化處理,可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件,與溶液完全隔離,避免漏電風險,同時具備 1500V/1min 的電氣強度,使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計,使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內,溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃,滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器,實時監測溶液溫度,當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節,確保化學反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體,可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率,為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障...
面向半導體新材料研發場景,國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩定性成為科研工具。采用石墨與碳化硅復合基材,工作溫度范圍覆蓋 500℃-2000℃,可通過程序設定實現階梯式升溫,升溫速率調節范圍 0.1-10℃/ 分鐘。加熱面配備 24 組測溫點,實時監測溫度分布,數據采樣頻率達 10Hz,支持與實驗室數據系統對接。設備體積緊湊(直徑 30cm),重量* 5kg,配備小型真空腔體與惰性氣體接口,適配薄膜沉積、晶體生長等多種實驗需求,已服務于中科院半導體所等科研機構。適用半導體、醫療、科研等多個領域,是您理想的加熱解決方案。金山區半導體晶圓加熱盤供應商國瑞熱控半導體測試用加熱盤,專為芯片性能測試環節的...
國瑞熱控針對氮化鎵外延生長工藝,開發**加熱盤適配 MOCVD 設備需求。采用高純石墨基材表面噴涂氮化鋁涂層,在 1200℃高溫下熱膨脹系數與藍寶石襯底匹配,避免襯底開裂風險,熱導率達 150W/mK,確保熱量均勻傳遞至襯底表面。內部設計 8 組**加熱模塊,通過 PID 精密控制實現 ±0.5℃的控溫精度,精細匹配氮化鎵外延層生長的溫度窗口(1050℃-1150℃)。設備配備惰性氣體導流通道,減少反應氣體湍流導致的薄膜缺陷,與中微公司 MOCVD 設備聯合調試,使外延層厚度均勻性誤差控制在 3% 以內,為 5G 射頻器件、電力電子器件量產提供**溫控支持。嚴格老化測試檢驗,確保產品零缺陷,品...
國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統,為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持。系統采用水冷與風冷復合散熱方式,水冷通道圍繞加熱盤均勻分布,配合高轉速散熱風扇,可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫,大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統配備智能溫控閥,根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速,避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件,在長期使用過程中無漏水風險,且具備壓力監測與報警功能,確保系統運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求,與國瑞加熱盤協同工作,形成完整的溫度控制閉環,為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障。密封式設計可選,防潮防塵耐腐蝕,適用復雜環境。甘肅高精度均溫加...
面向先進封裝 Chiplet 技術需求,國瑞熱控**加熱盤以高精度溫控支撐芯片互聯工藝。采用鋁合金與陶瓷復合基材,加熱面平面度誤差小于 0.02mm,確保多芯片堆疊時受熱均勻。內部采用微米級加熱絲布線,實現 1mm×1mm 精細溫控分區,溫度調節范圍覆蓋室溫至 300℃,控溫精度 ±0.3℃,適配混合鍵合、倒裝焊等工藝環節。配備壓力與溫度協同控制系統,在鍵合過程中同步調節溫度與壓力參數,減少界面缺陷。與長電科技、通富微電等企業適配,支持 2.5D/3D 封裝架構,為 AI 服務器等高算力場景提供高密度集成解決方案。創新熱傳導技術,熱量集中不散失,有效降低能源消耗成本。廣東涂膠顯影加熱盤國瑞熱控...
針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求,國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質,經電解拋光與鈍化處理,可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件,與溶液完全隔離,避免漏電風險,同時具備 1500V/1min 的電氣強度,使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計,使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內,溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃,滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器,實時監測溶液溫度,當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節,確?;瘜W反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體,可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率,為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障...
國瑞熱控 8 英寸半導體加熱盤聚焦成熟制程需求,以高性價比與穩定性能成為中低端芯片制造的推薦。采用鋁合金基體經陽極氧化處理,表面平整度誤差小于 0.03mm,加熱面溫度均勻性控制在 ±2℃以內,滿足 65nm 至 90nm 制程的溫度要求。內部采用螺旋狀鎳鉻加熱絲,熱效率達 85% 以上,升溫速率 15℃/ 分鐘,工作溫度上限 450℃,適配 CVD、PVD 等常規工藝。設備配備標準真空吸附接口與溫控信號端口,可直接替換 ULVAC、Evatec 等國際品牌同規格產品,安裝無需調整現有生產線布局。通過 1000 小時高溫老化測試,故障率低于 0.1%,為功率器件、傳感器等成熟制程芯片制造提供穩...
依托強大的研發與制造能力,國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務,滿足特殊工藝與設備的個性化需求??筛鶕蛻籼峁┑膱D紙與參數,定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤,尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規格。材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設定。通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案,原型樣品交付周期縮短至 15 個工作日,批量生產前提供 2 臺樣品進行工藝驗證。已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤,適配其自主研發設備,助力國產半導體設備產業鏈完善。精益求精每個環節,溫度一致響應快,性能優異。天津探針測試加熱盤...
國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗,提供全流程定制化研發服務,滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節,可根據客戶提供的工藝參數(溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等),定制特殊材質(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結構(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤。配備專業研發團隊(含材料學、熱力學、機械設計工程師),采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案,原型樣品交付周期**短 10 個工作日,且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤,如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤,實現加熱與勻氣功能一體化,滿足其特...
依托強大的研發與制造能力,國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務,滿足特殊工藝與設備的個性化需求??筛鶕蛻籼峁┑膱D紙與參數,定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤,尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規格。材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設定。通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案,原型樣品交付周期縮短至 15 個工作日,批量生產前提供 2 臺樣品進行工藝驗證。已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤,適配其自主研發設備,助力國產半導體設備產業鏈完善。研發團隊持續探索,新材料新工藝,效能不斷提升。中國香港晶圓級陶...