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工業生產中常見的腐蝕性氣體可分為三大類，其特性直接決定了真空機組的選型方向：酸性腐蝕性氣體，以氯氣（Cl?）、氟化氫（HF）、二氧化硫（SO?）為，這類氣體遇水會形成酸性溶液（如Cl?+H?O→HCl+HClO），對金屬材料（尤其是碳鋼）產生強烈的電化學腐蝕。干燥氯氣對304不銹鋼的腐蝕速率約0.1mm/年，但在潮濕環境下可升至1mm/年以上，短短3個月就能穿透2mm厚的鋼板。堿性腐蝕性氣體，主要包括氨氣（NH?）、胺類蒸氣等，這類氣體易與二氧化碳反應生成碳酸鹽，對銅、鋅等有色金屬產生腐蝕。標準化和規模化之間良性互動發展的生產優勢，鑄就華中真空設備優良的性價比。遼寧羅茨水環真空機組多少錢能耗方...

旋片真空泵機組通常由單級或雙級旋片泵為主泵，根據需求可搭配擴散泵組成高真空系統，基本配置包括泵體、轉子、旋片、油霧分離器及真空閥門。重點部件旋片泵的轉子偏心安裝在定子腔內，轉子槽內的旋片在彈簧力和離心力作用下緊貼定子內壁，將泵腔分隔為吸氣和排氣兩個單獨區域。泵腔內填充真空泵油，既作為密封介質又實現潤滑冷卻，油膜厚度通常保持在0.01-0.03mm，確保在低壓下仍能有效密封。旋片機組的工作遵循“變容壓縮”原理。啟動后，轉子旋轉使吸氣腔容積周期性擴大，形成負壓吸入氣體；當旋片轉過吸氣口后，氣體進入壓縮階段，容積逐漸縮小使壓力升高；當壓力超過大氣壓時，排氣閥被推開將氣體排出。華中真空“團結、拼搏、求...

在半導體芯片制造過程中，光刻、刻蝕等關鍵工序需要超高真空環境（真空度通常要求在10??Pa以下）。為了達到這一真空度，采用渦輪分子泵機組作為重點抽氣設備，并搭配干泵作為前級泵。在系統設計上，采用全金屬密封結構，減少泄漏；選用低放氣率的不銹鋼材料制作真空室和管道；在生產前，對系統進行高溫烘烤除氣（溫度約300℃，持續24小時），去除材料表面的吸附氣體。同時，通過實時監測和控制，將真空度穩定控制在10??Pa左右，確保芯片制造的精度和質量。華中真空設備制訂了嚴格的管理制度，并在公司內部滲透，明確了質量方針，進而設立品質保障。煙臺雙羅茨螺桿真空機組對于缺乏明確參數的老舊工藝，可通過實驗測量：用臨時真...

在真空技術的應用中，真空機組所能達到的較高真空度是衡量其性能的重點指標之一。從工業生產到科學研究，不同場景對真空度的要求千差萬別，而較高真空度的實現與否直接關系到工藝的成敗和實驗的精度。深入了解各類真空機組的較高真空度水平及其影響因素，對于設備選型、系統優化和真空環境的穩定控制具有重要意義。各類真空機組由于重點泵體的工作原理、結構設計以及配套系統的差異，所能達到的較高真空度存在明顯差異，形成了從粗真空到超高真空的完整真空度覆蓋范圍。山東華中始終堅持不懈的進行著產品的研發與創新，注重產品的質量標準。濱州水環式真空機組不同真空泵對氣體類型的適應性差異明顯：水環泵適合抽除濕蒸氣，但無法處理有機溶劑；...

在系統中設置吸附裝置（如低溫吸附阱、分子篩吸附器等），利用吸附材料對氣體分子的吸附作用，去除系統內的殘余氣體。低溫吸附阱通常采用液氮作為冷卻介質，能夠有效吸附水蒸氣、二氧化碳等氣體；分子篩吸附器則對氮氣、氧氣等氣體具有良好的吸附效果。對真空機組的工作環境進行控制，保持環境溫度、濕度的穩定。安裝恒溫恒濕控制系統，將環境溫度控制在（25±1）℃，相對濕度控制在50%±5%以內。在真空機組的進氣口設置空氣過濾和干燥裝置，去除空氣中的塵埃、水分和油蒸氣等雜質，減少進入系統的氣體負載。華中真空設備生產條件完善，檢測手段完整齊全，值得信賴！遼寧真空泵真空機組單級旋片泵機組，適配真空度：10?-102Pa（...

羅茨真空泵機組的較高真空度一般在10?1Pa左右，具體數值受前級泵性能的影響較大。羅茨泵本身屬于增壓泵，無法單獨從大氣壓開始抽氣，需要前級泵先將系統壓力抽到一定程度（通常103Pa以下）才能啟動。其較高真空度的實現依賴于前級泵所能達到的真空度以及自身的增壓能力。當搭配水環泵作為前級泵時，由于水環泵的較高真空度較低，羅茨-水環機組的較高真空度通常在100-1000Pa；而搭配旋片泵作為前級泵時，得益于旋片泵較高的真空度，羅茨-旋片機組的較高真空度可提升至10?1Pa左右。羅茨泵的增壓比（排氣壓力與進氣壓力之比）通常在10-100之間，通過多級羅茨泵串聯的方式，還能進一步提高機組的較高真空度，但提...

控制系統根據設定真空度值，通過調節泵轉速、閥門開度等方式，精確控制氣體抽出速率，維持系統真空度穩定在特定值。如在半導體制造設備中，需將真空度穩定維持在10^-9Pa，控制系統會根據測量裝置反饋，實時調整分子泵轉速與相關閥門狀態，保證生產過程中真空環境穩定。低真空機組：對于低真空度要求（10^5-10^2Pa），常見配置為單級旋片泵或水環泵。如食品真空包裝機，單級旋片泵通過旋片旋轉抽氣，將包裝腔內空氣抽出，達到約-0.1MPa（接近10^5Pa）真空度，完成食品包裝。工作時，泵持續運行，保持包裝腔內真空度穩定，防止外界空氣進入影響食品保質期。淄博華中真空設備有限公司竭誠希望得到各界朋友的支持與合...

而渦輪分子泵由于其獨特的分子動量傳遞原理，本身沒有由工作介質帶來的真空度限制，理論上可以達到極高的真空度，其性能主要取決于葉片轉速、級數以及泵的結構設計等。此外，泵的抽氣速率也會影響機組達到較高真空度的時間，但對較高真空度的極限值影響較小。抽氣速率大的泵可以更快地將系統內氣體抽出，縮短達到穩定真空度的時間，但能達到的較高真空度還是由泵的極限真空度決定。真空系統的密封性是影響機組較高真空度的關鍵因素之一。如果系統存在泄漏，外界大氣會不斷進入系統，導致系統內氣體壓強無法進一步降低，從而限制較高真空度的提升。華中真空設備擁有完善的管理體系，統一對品質信息的共享、指導、監督、監控進行管理。濟南真空機組...

不同機組的能耗差異明顯，需結合生命周期成本選型：低真空場景：水環泵（功率15kW）比旋片泵（功率7.5kW）抽速大但能耗高，適合間歇運行；中高真空場景：渦輪分子泵（功率5kW）比擴散泵（功率10kW+加熱20kW）更節能，運行1年可收回差價；節能技巧：大抽速機組+變頻控制（如羅茨泵在抽氣后期降速30%，能耗降50%）安裝與維護條件，實際安裝環境的限制可能改變選型決策：空間限制：小型實驗室優先選集成式機組（如旋片泵+控制器一體化），潔凈要求：半導體車間需無油機組（干式螺桿泵、渦輪分子泵），維護能力：偏遠地區優先選水環泵（結構簡單），避免選低溫泵（需專業維護）。華中真空設備配套性強、特點突出、適應...

低真空場景的重點需求是快速粗抽與耐受大量初始氣體，對極限真空度要求不高，但需保證抽氣速率穩定。選型時需重點考慮：初始氣體量（與被抽容積相關）：容積越大，需越高抽速的機組；氣體類型（干燥/含濕/含塵）：含濕氣體優先選水環泵，含塵氣體需加裝過濾裝置；抽氣時間要求：批量生產場景需高抽速機組縮短單周期時間。水環真空泵機組，適配真空度：10?-103Pa（極限約103Pa），重點優勢：可抽除大量水蒸氣（抽速只下降15%-20%），結構簡單維護成本低（年維護費約為設備原值的5%），典型應用：造紙廠真空脫水（需10?-5×103Pa）、污水處理曝氣（需10?-10?Pa）選型注意：需控制工作水溫（每升高10...

不同真空泵對氣體類型的適應性差異明顯：水環泵適合抽除濕蒸氣，但無法處理有機溶劑；干式螺桿泵能應對腐蝕性氣體，卻在超高真空階段抽速不足；離子泵適用于超高真空下的微量氣體，卻完全不能處理大氣量抽氣。某化工企業用單一旋片泵抽除含氯氣體，3個月內泵體腐蝕導致抽速下降60%，改用“羅茨泵+耐腐蝕螺桿泵”組合后問題得到解決。真空泵組合通過性能互補，能突破單一泵的局限，形成“1+1＞2”的系統效能：真空度范圍的連續覆蓋，組合機組可實現從大氣壓到超高真空的全范圍覆蓋：粗抽泵（如水環泵）負責10?-103Pa，中抽泵（如羅茨泵）銜接103-10?1Pa，主泵（如渦輪分子泵）處理＜10?1Pa。這種接力式抽氣使系...

此階段，前級泵利用自身工作機制，如旋片泵通過旋片旋轉壓縮氣體排出，不斷降低系統壓強，為后續主泵啟動創造條件。主泵工作階段：當系統真空度達到主泵允許入口壓力時，啟動主泵。如上述機組，當真空度達10-10^-1Pa，渦輪分子泵啟動，其高速旋轉葉片對氣體分子加速，將氣體推向排氣口，進一步降低系統壓強。在此過程中，前級泵持續運行，維持主泵排氣口較低壓強，確保主泵正常工作。維持真空度階段：隨著主泵和前級泵協同工作，系統真空度不斷提升，接近目標真空度時，真空測量裝置將信號反饋給控制系統。山東華中愿意與所有合作伙伴一同努力，在真空設備行業中與時俱進、不斷超越。寧夏水環式真空機組批發在真空技術的實際應用中，單...

牽引分子泵：牽引分子泵工作原理基于氣體分子與泵內高速旋轉部件表面的相互作用。其轉子表面有特殊形狀溝槽或螺紋，當轉子高速旋轉時，氣體分子因與轉子表面碰撞，被“牽引”向排氣口方向移動，實現抽氣過程。與渦輪分子泵相比，牽引分子泵結構相對簡單，對氣體負載適應性好，同樣適用于高真空和超高真空環境，在一些對設備體積、重量有要求的場合應用，如小型超高真空實驗裝置，極限真空度可達10^-8-10^-10Pa。水環泵主要由葉輪、泵體、密封裝置等組成。葉輪偏心安裝在泵體內，啟動前泵內注入一定量水。山東華中本著誠信、品質、服務的經營理念，不斷開拓創新，與時俱進，深獲廣大用戶的贊揚。海南高真空機組價格在真空技術的實際...

渦輪分子泵機組能獲得10?11Pa超高真空，且抽速不受壓力影響（在10?1-10??Pa區間保持恒定）。但其對安裝姿態敏感（水平或垂直安裝需對應不同型號），振動控制要求嚴格（振幅需＜0.01mm），否則會導致葉片磨損。設備成本較高（約為羅茨機組的5-10倍），且維修復雜，因此主要用于品質制造和科學研究領域。在同步輻射裝置中，渦輪分子泵機組是光束線真空系統的重點。其需在10??Pa真空下運行以減少氣體分子對光子的散射，通過冗余設計（一用一備）確保全年連續運行，平均無故障時間可達10000小時以上，體現了其在極端真空環境下的可靠性。華中生產設備先進，檢測施工設備齊全，研發機構專業，技術力量雄厚，工...

采用先進的密封技術和高質量的密封材料，提高真空系統的密封性。在管道連接、閥門安裝等部位，選用性能優良的密封件（如氟橡膠密封圈、金屬密封件等），并保證密封面的加工精度和光潔度。同時，在系統安裝完成后，進行嚴格的檢漏工作，采用氦質譜檢漏儀等高精度檢漏設備，及時發現并修復泄漏點，將系統泄漏率控制在極低的水平（通常要求泄漏率小于10?1?Pa?m3/s）。定期對系統進行維護和保養，檢查密封件的狀態，及時更換老化或損壞的密封件，防止因密封失效導致的泄漏。對于長期運行的真空系統，還可以采用定期烘烤的方式，去除密封件表面吸附的氣體和水分，恢復其密封性能。華中真空多年來“以質量為先導，以微利求生存”，重合同，...

工業實踐中，制造商通常標注20℃干燥空氣條件下的抽速曲線，用戶需根據實際氣體類型進行修正。例如，在處理含大量水蒸氣的真空干燥工藝中，需將水環泵的標稱抽速乘以0.85的修正系數。真空系統的整體抽氣速率需考慮管路系統的影響，采用“串聯阻抗法”計算：1/S_total=1/S_pump+1/S_line，其中S_total為系統有效抽速，S_pump為泵抽速，S_line為管路抽速（由管道直徑、長度及氣體流態決定）。當氣體處于黏滯流態（壓強大于10?Pa）時，管路抽速與管徑四次方成正比、與長度成反比；在分子流態（壓強小于1Pa）時，管路抽速與管徑三次方成正比。華中真空在發展理念、體制機制、管理、技術...

真空度的科學分級是選型的基礎。根據國際通用標準，真空環境按壓強范圍分為四級，每級對應特定的機組類型及應用場景：真空度等級，壓強范圍，重點需求特征，典型適用機組，代表性應用場景，低真空。101325Pa-100Pa，快速建立粗真空，耐受大量氣體負載，水環真空泵機組、單級旋片泵機組、羅茨泵-水環泵組合機組，食品真空包裝（10?-103Pa）、真空成型（10?-10?Pa）、真空過濾（10?-103Pa）。中真空，100Pa-10?1Pa，穩定維持中等真空，需平衡抽速與真空度，雙級旋片泵機組、羅茨泵-旋片泵組合機組、干式螺桿泵機組，真空鍍膜預處理（102-10?Pa）、真空干燥（103-101Pa）...

離子泵無油污染、極限真空度高，可達10^-7-10^-12Pa，適用于超高真空環境，如半導體制造中的光刻、電子顯微鏡等設備，但價格較高、抽氣速率相對較小。吸附泵利用多孔吸附劑材料（如分子篩、活性炭等）吸附氣體分子來降低空間內氣體壓強。工作時，吸附劑對不同氣體分子有選擇性吸附作用，將氣體分子捕獲在其孔隙表面。吸附泵常用于獲取中真空環境，范圍為10^3-10^-2Pa，在一些對真空度要求不高且需快速建立真空的場合應用，如實驗室小型真空系統。其優點是結構簡單、無運動部件、無油污染，但吸附容量有限，需定期再生吸附劑以維持性能。華中真空設備依托先進的生產技術、強大的科研隊伍、健全的銷售網絡和完善的售后服...

采取多種措施減少系統內的氣體負載，是提高較高真空度的有效途徑。對真空系統進行烘烤除氣處理，通過加熱系統部件（如真空室、管道等），使材料表面和內部的氣體釋放出來，并被真空泵抽出。烘烤溫度和時間根據材料的類型和系統的要求確定，一般金屬材料的烘烤溫度為150-300℃，烘烤時間為12-24小時。選擇放氣率低的材料制作真空系統部件，避免使用容易放氣的材料（如塑料、普通橡膠等）。在系統設計中，盡量減少部件的表面積，以減少氣體的吸附量。對于進入系統的氣體，如工藝氣體等，應進行凈化處理，去除其中的雜質和可凝性氣體。華中真空設備與客戶攜手共進，合作共贏，創造更加美好的明天！北京羅茨真空機組葉輪旋轉時，水受離心...

控制系統根據設定真空度值，通過調節泵轉速、閥門開度等方式，精確控制氣體抽出速率，維持系統真空度穩定在特定值。如在半導體制造設備中，需將真空度穩定維持在10^-9Pa，控制系統會根據測量裝置反饋，實時調整分子泵轉速與相關閥門狀態，保證生產過程中真空環境穩定。低真空機組：對于低真空度要求（10^5-10^2Pa），常見配置為單級旋片泵或水環泵。如食品真空包裝機，單級旋片泵通過旋片旋轉抽氣，將包裝腔內空氣抽出，達到約-0.1MPa（接近10^5Pa）真空度，完成食品包裝。工作時，泵持續運行，保持包裝腔內真空度穩定，防止外界空氣進入影響食品保質期。華中真空設備擁有完善的管理體系，統一對品質信息的共享、...

羅茨真空泵機組以羅茨泵為主泵，通常搭配旋片式真空泵或水環泵作為前級泵，輔以管道、閥門、真空測量儀表及控制系統構成完整系統。其重點部件羅茨泵屬于容積式機械泵，由兩個8字形轉子、泵體、齒輪箱等組成，轉子間及轉子與泵體間保持微小間隙（通常0.1-0.2mm），運轉時無接觸摩擦，無需潤滑介質。這種結構設計使其具備抽氣速率穩定、適應性強的特點，尤其適合處理含有少量粉塵或可凝性氣體的工況。羅茨真空泵機組的工作過程遵循“分級增壓抽氣”邏輯。啟動時，前級泵首先運行，將系統壓力從大氣壓降至103Pa以下——這是羅茨泵的安全啟動閾值。淄博華中真空設備有限公司擁有豐富的專業化施工隊伍，更好的為客戶提供系統化的服務。...

渦輪分子泵機組是目前能夠達到超高真空的主要設備之一，其較高真空度可達10?11Pa。渦輪分子泵通過高速旋轉的葉片（轉速可達24000-60000r/min）與氣體分子發生碰撞，將氣體分子推向排氣口，實現抽氣。由于其工作不依賴工作介質的密封，而是通過分子動量傳遞，理論上可以達到極高的真空度。渦輪分子泵機組通常需要旋片泵或干泵作為前級泵，前級泵先將系統壓力抽到10?1Pa以下，為渦輪分子泵的啟動和穩定運行創造條件。在實際應用中，渦輪分子泵機組的較高真空度還受到系統放氣、材料出氣等因素的影響，但在經過充分烘烤除氣等處理的系統中，完全可以達到10?11Pa的超高真空，滿足半導體芯片制造、高能物理實驗、...

針對不同抽氣階段的需求匹配泵型：粗抽階段用高抽速泵快速排除大量氣體，精抽階段用高真空泵處理殘余氣體。某20m3真空干燥罐采用“羅茨泵并聯粗抽（總抽速600m3/h）+旋片泵精抽”，抽氣時間從單一泵的48小時縮短至12小時，能耗降低40%。通過組合不同氣體適應性的泵型，可處理多組分復雜氣體：用無油螺桿泵抽除含濕氣體，羅茨泵提升抽速，渦輪分子泵處理殘余氣體。真空泵（如渦輪分子泵）單價是普通泵的5-10倍，只在精抽階段使用可降低投資。某實驗室采用“旋片泵（前級）+渦輪分子泵（主泵）”組合，比單獨使用兩臺渦輪分子泵節省60%投資，且性能完全滿足需求。華中真空設備生產條件完善，檢測手段完整齊全，值得信賴...

水環真空泵機組的較高真空度相對較低，通常在1000-4000Pa之間。這是由其工作原理決定的，水環泵依靠泵內旋轉的水環形成密封和容積變化來抽氣，而水在一定溫度下會產生飽和蒸氣壓。當泵內氣體壓強降低到接近水的飽和蒸氣壓時，水會大量蒸發，無法繼續有效抽氣，因此其較高真空度受水的飽和蒸氣壓限制。在常溫（20℃）下，水的飽和蒸氣壓約為2338.8Pa，所以水環真空泵機組在該溫度下的較高真空度通常在2000Pa左右；如果水溫升高到40℃，水的飽和蒸氣壓上升到7381.4Pa，機組的較高真空度則會降至4000Pa左右。在實際應用中，通過降低水溫可以在一定程度上提高其較高真空度，如采用冷卻系統將水溫控制在1...

工作壓力與真空機組的匹配需建立在壓力范圍與機組性能的科學對應上。根據工業實踐總結，不同工作壓力區間對應著特定的機組類型：工作壓力范圍，對應真空度等級，重點機組類型，典型工藝案例，101325Pa-1000Pa。低真空，水環泵機組、單級旋片泵機組，食品真空包裝（5000-10000Pa）、真空過濾（2000-5000Pa）。1000Pa-1Pa，中低真空，羅茨-水環組合機組、雙級旋片泵機組，真空成型（500-1000Pa）、橡膠硫化（100-500Pa），1Pa-1×10?3Pa，中高真空，羅茨-旋片組合機組、干式螺桿泵機組，鋰電池極片干燥（10-100Pa）、真空釬焊（1-10Pa），1×10...

此階段，前級泵利用自身工作機制，如旋片泵通過旋片旋轉壓縮氣體排出，不斷降低系統壓強，為后續主泵啟動創造條件。主泵工作階段：當系統真空度達到主泵允許入口壓力時，啟動主泵。如上述機組，當真空度達10-10^-1Pa，渦輪分子泵啟動，其高速旋轉葉片對氣體分子加速，將氣體推向排氣口，進一步降低系統壓強。在此過程中，前級泵持續運行，維持主泵排氣口較低壓強，確保主泵正常工作。維持真空度階段：隨著主泵和前級泵協同工作，系統真空度不斷提升，接近目標真空度時，真空測量裝置將信號反饋給控制系統。淄博華中真空設備有限公司始終堅持以人為本的原則，人才是公司財富的理念。山西高真空機組廠家從極限真空度來看，各類機組呈現明...

渦輪分子泵機組是高真空領域的重點設備，由渦輪分子泵為主泵，旋片泵或干泵作為前級泵，配套分子泵控制器、超高真空閥門及電離真空計。重點部件渦輪分子泵包含多級交替排列的動葉片和靜葉片，動葉片由磁懸浮軸承或精密滾珠軸承支撐，可實現24000-60000r/min的超高轉速。葉片采用空氣動力學優化設計，每級葉片傾斜角度精確匹配氣體分子運動特性，確保對氣體分子的定向傳輸。渦輪分子泵機組的工作基于“分子動量傳遞”原理。啟動前，前級泵需將系統抽至10?1Pa以下——這是避免分子泵過載的臨界值。華中真空多年來“以質量為先導，以微利求生存”，重合同，守信用。青海抽真空機組批發工作壓力相同但氣體類型不同時，機組選型...

葉輪旋轉時，水受離心力作用在泵體內壁形成旋轉水環，水環與葉輪輪轂間形成多個大小變化的密封腔。在吸氣側，密封腔容積逐漸增大，壓強降低，氣體被吸入；在排氣側，密封腔容積逐漸減小，氣體被壓縮，當壓強高于大氣壓時，氣體經排氣口排出。水環泵能抽除大量可凝性蒸汽，結構簡單、運行可靠，常用于化工、造紙等行業，可處理有腐蝕性、含固體顆粒的氣體，極限真空度受水的飽和蒸汽壓限制，一般為2000-4000Pa。擴散泵利用高速油蒸氣或汞蒸氣射流攜帶氣體分子實現抽氣。華中人堅信在集團公司的堅強領導下，在全體職工的共同努力下，我們的宏偉目標一定能夠實現。云南真空機組多少錢工作壓力相同但氣體類型不同時，機組選型需針對性調整...

抽氣速率需通過實驗確認：在工作壓力下，用流量計向系統注入已知流量的氣體；記錄穩定后的壓力變化，計算實際抽速S=注入流量/壓力；要求實際抽速≥計算所需抽速（帶1.2倍安全系數）。實例：某真空爐要求抽速5m3/h@10Pa，測試時注入10Pa?m3/h氣體，穩定壓力1.8Pa，實際抽速=10/1.8≈5.56m3/h＞5m3/h，驗證合格。若測試不達標，可通過以下措施優化：管路優化：直徑不足時增大管徑（如從DN50換為DN80，抽速提升40%），減少彎頭和閥門（每個90°彎頭損失10%抽速），高真空下管道內壁需電解拋光（降低氣體吸附），輔助設備增設：可凝性氣體：加裝低溫冷阱（-120℃），蒸氣捕集...

渦輪分子泵-離子泵組合機組，適配真空度：10??-10?11Pa（極限約10?11Pa），重點優勢：渦輪分子泵負責抽氣初期，離子泵維持超高真空（無油、無振動），典型應用：半導體光刻（需10??-10?1?Pa）、量子芯片制備（需10??-10?11Pa），選型注意：需烘烤除氣（150-200℃持續24小時），離子泵需在10??Pa以下啟動。低溫泵-渦輪分子泵組合機組，適配真空度：10??-10?12Pa（極限約10?12Pa），重點優勢：抽速大（對水蒸氣抽速可達10?L/s），適合快速建立超高真空，典型應用：航天空間環境模擬艙（需10??-10?11Pa）、X射線望遠鏡（需10?1?-10?1...