當主動螺桿軸轉(zhuǎn)動時,被動螺桿軸跟隨旋轉(zhuǎn),在兩個螺桿軸的螺紋間形成一系列密封工作室。隨著螺桿軸的持續(xù)轉(zhuǎn)動,這些工作室從入口端逐漸縮小,從而使氣體被不斷壓縮和排出,較終實現(xiàn)真空狀態(tài)。螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)緊湊且設(shè)計巧妙,主要由以下幾個關(guān)鍵部分組成:螺桿轉(zhuǎn)子,螺桿轉(zhuǎn)子通常...
為了提高水環(huán)壓縮機的效率,需要在設(shè)計和制造過程中采取一系列措施,如優(yōu)化葉輪和氣缸的結(jié)構(gòu),選擇合適的工作液和密封材料,以減少能量損失,提高設(shè)備的整體性能。葉輪是水環(huán)壓縮機的重點部件之一,其結(jié)構(gòu)設(shè)計直接影響到壓縮機的性能。葉輪通常由輪轂、葉片和輪蓋組成,葉片均勻地...
干式螺桿真空泵的噪音主要由機械振動和氣體流動引起。具體來說,以下幾個方面是噪音產(chǎn)生的主要原因:機械振動,螺桿泵的運動部件,如螺桿、軸承等,在高速運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生振動。這些振動通過泵體和安裝基礎(chǔ)傳遞到周圍環(huán)境中,形成噪音。振動的大小與設(shè)備的精度、平衡性、材料質(zhì)量等因...
在半導(dǎo)體芯片制造過程中,光刻、刻蝕等關(guān)鍵工序需要超高真空環(huán)境(真空度通常要求在10??Pa以下)。為了達到這一真空度,采用渦輪分子泵機組作為重點抽氣設(shè)備,并搭配干泵作為前級泵。在系統(tǒng)設(shè)計上,采用全金屬密封結(jié)構(gòu),減少泄漏;選用低放氣率的不銹鋼材料制作真空室和管道...
它能夠大量抽除可凝性氣體、腐蝕性氣體或含有微塵的氣體。醫(yī)藥工業(yè)中,螺桿真空泵被用于回收藥液及藥物中間體,為人造組織生產(chǎn)提供清潔無菌條件,以及回收氣體消毒劑等。這些應(yīng)用要求真空泵能夠抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合。在食品工業(yè)中,螺桿真空泵被用于香料、香精...
通過改進設(shè)備設(shè)計、提高加工精度和裝配質(zhì)量等方式來減少機械振動和氣體流動噪音。例如,采用更先進的軸承和密封技術(shù)、優(yōu)化螺桿型線設(shè)計等都可以有效降低噪音。將真空泵安裝在遠離人員密集區(qū)域或敏感區(qū)域的位置,以減少噪音對周圍環(huán)境和人員的影響。同時,可以通過設(shè)置隔音罩或隔音...
各類機組的抽氣機制存在本質(zhì)差異:羅茨泵和旋片泵屬于“容積式”,通過改變腔室體積實現(xiàn)抽氣;水環(huán)泵屬于“液環(huán)式”,利用液體形成的動態(tài)密封腔抽氣;渦輪分子泵屬于“動量傳遞式”,通過分子碰撞轉(zhuǎn)移氣體。這種區(qū)別導(dǎo)致它們對氣體類型的適應(yīng)性不同:容積式機組不適合含大量水汽的...
泵殼:泵殼是螺桿真空泵的主體部分,它容納了螺桿轉(zhuǎn)子和相關(guān)密封件。泵殼上通常開有冷卻水通道,用于冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,以確保泵的穩(wěn)定運行。密封件:螺桿真空泵采用多種密封件來確保無油效果。例如,排氣端通常采用機械式密封件,進氣側(cè)則使用雙唇形密封件。這些密封件有效地...
這些設(shè)計使得干式真空泵在保持高抽氣性能的同時降低了能耗和運行成本。干式真空泵在運行過程中通常表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性。這得益于其無油、無摩擦的設(shè)計以及精密的動平衡校正。無油設(shè)計避免了潤滑油對泵內(nèi)零件的腐蝕和磨損;無摩擦設(shè)計減少了運行過程中的摩擦損失和熱量產(chǎn)生;動平衡...
能耗方面,同等抽速下(100m3/h),水環(huán)機組功率約15kW(含水循環(huán)系統(tǒng)),羅茨機組約11kW,旋片機組約7.5kW,渦輪分子機組約20kW(含冷卻系統(tǒng))。運行成本除能耗外,還包括維護費用:水環(huán)機組因結(jié)構(gòu)簡單,年維護費約為設(shè)備原值的5%;羅茨機組因齒輪箱維...
對于部分小型或特殊用途的干式真空泵,也可以采用風(fēng)冷系統(tǒng)進行散熱。風(fēng)冷系統(tǒng)通過風(fēng)扇或散熱器等裝置將泵體產(chǎn)生的熱量散發(fā)到空氣中。雖然風(fēng)冷系統(tǒng)的散熱效果可能不如水冷系統(tǒng),但在一些特定場合下仍然具有實用價值。為了減少熱量向泵體外部傳遞,可以采取隔熱與保溫措施。例如,在...
干式螺桿真空泵的無油運行是其明顯特點之一。這種設(shè)計不僅減少了對環(huán)境的污染,還降低了維護成本,因為無需定期更換潤滑油和清洗油漬。此外,無油運行還避免了因潤滑油污染被抽氣體而導(dǎo)致的工藝問題,特別是在對氣體純度要求較高的場合。盡管干式螺桿真空泵整體實現(xiàn)了無油運行,但...
由于水環(huán)壓縮機的工作原理是基于葉輪的旋轉(zhuǎn)和工作液的動態(tài)密封,沒有往復(fù)式壓縮機那樣的活塞往復(fù)運動和機械撞擊,因此在運行過程中產(chǎn)生的噪聲和振動都非常小。這使得水環(huán)壓縮機在對噪聲和振動要求較高的場合具有明顯的優(yōu)勢,如在醫(yī)院、學(xué)校、居民區(qū)等環(huán)境敏感區(qū)域,以及對設(shè)備運行...
半導(dǎo)體封裝過程中需要去除封裝過程中的空氣和水分,防止芯片受到氧化和腐蝕,提高封裝的可靠性。干式真空泵能夠高效地去除封裝腔內(nèi)的氣體和水分,為封裝過程提供潔凈的真空環(huán)境。此外,在測試環(huán)節(jié),干式真空泵也常被用于芯片性能測試和可靠性驗證等實驗中,確保測試結(jié)果的準確性。...
真空泵的真空度是選擇時首先要考慮的因素。通常,設(shè)備的真空度需求應(yīng)明確,且所選泵的極限真空度應(yīng)高于設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級,以確保泵在實際工作過程中能夠穩(wěn)定地維持所需的真空環(huán)境。例如,在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓加工、刻蝕和薄膜沉積等環(huán)節(jié)對真空度的要求極高,需...
干式真空泵在氣體適用性上具有一定的廣闊性,但并不意味著它適用于所有類型的氣體。其適用性主要取決于泵的類型、結(jié)構(gòu)、材料以及被抽氣體的性質(zhì)。腐蝕性氣體:對于具有腐蝕性的氣體,干式真空泵的適用性取決于泵體材料和內(nèi)部結(jié)構(gòu)的耐腐蝕能力。一些品質(zhì)干式真空泵采用特殊材料(如...
螺桿真空泵的傳動方式多種多樣,根據(jù)實際應(yīng)用場景和需求的不同,常見的傳動方式主要包括以下幾種:直連電機傳動是螺桿真空泵中較常見、也較簡便的一種傳動方式。它通過將電機與螺桿轉(zhuǎn)子直接連接(通常使用聯(lián)軸器),實現(xiàn)動力的傳遞。這種傳動方式具有結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、傳動效率高、...
與干式螺桿真空泵相比,無油往復(fù)真空泵在抽氣量上可能稍遜一籌,但其無油設(shè)計同樣保證了真空環(huán)境的潔凈度,且制造成本相對較低,是經(jīng)濟型真空解決方案的選擇之一。爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成,每級都包含兩個相對旋轉(zhuǎn)的爪形轉(zhuǎn)子。這些轉(zhuǎn)子通過精密的嚙合設(shè)計,在泵腔內(nèi)形成多個封閉...
水環(huán)壓縮機通過葉輪的高速旋轉(zhuǎn),帶動工作液體在氣缸內(nèi)做圓周運動,由于離心力的作用,液體被甩向氣缸內(nèi)壁,形成一個與氣缸同心的封閉液環(huán)。葉輪與液環(huán)之間的空間則被分割成多個容積可變的小室,隨著葉輪的轉(zhuǎn)動,這些小室的容積周期性地變化,從而實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出過程。...
任何一個環(huán)節(jié)的失效都會影響整機性能,葉輪磨損導(dǎo)致液環(huán)形態(tài)異常→壓縮效率下降→排氣溫度升高→工作液汽化加劇→進一步惡化液環(huán)穩(wěn)定性,形成惡性循環(huán)。性能優(yōu)化可從三個維度著手:一是結(jié)構(gòu)改進,如采用三元流葉輪設(shè)計(比傳統(tǒng)葉輪效率高10%);二是材料升級,處理強腐蝕介質(zhì)時...
此時液體在重力作用下處于靜止狀態(tài),形成穩(wěn)定的自由液面。對于臥式氣缸,靜止液體呈現(xiàn)為底部的半弧形;立式氣缸則形成環(huán)形液膜,但尚未形成封閉結(jié)構(gòu)。液位高度是關(guān)鍵參數(shù):若液位過低(低于 1/4),啟動后難以形成完整液環(huán);過高(超過 1/2)則會導(dǎo)致葉輪浸沒深度過大,啟...
氣體負載是指系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生或進入的氣體量,包括被抽容器內(nèi)的初始氣體、材料的放氣、滲透氣體等。氣體負載的大小和性質(zhì)會直接影響真空機組能否達到其理論較高真空度。被抽容器內(nèi)的初始氣體量會影響抽氣時間,但在足夠長的抽氣時間下,初始氣體可以被充分抽出,對較高真空度的影響較小...
然而,無油渦旋真空泵的抽氣量相對較小,只適用于小抽氣量的工藝中。此外,由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜且精密,對制造和裝配工藝的要求也較高。無論是哪種類型的干式真空泵,其工作流程大致可以歸納為以下幾個步驟:氣體吸入,在泵腔內(nèi)形成低壓區(qū),外部氣體通過進氣口被吸入泵腔。氣體...
在天然氣凈化廠,水環(huán)壓縮機可用于壓縮含有雜質(zhì)和水分的天然氣,通過工作液的洗滌作用,去除天然氣中的雜質(zhì)和水分,提高天然氣的純度。此外,在石油煉制過程中,水環(huán)壓縮機也可用于壓縮各種工藝氣體,如氫氣、氮氣等,滿足不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)的需求。制藥行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境和設(shè)備的要求非常...
其二,葉片與液環(huán)之間形成的月牙形基元容積,隨葉輪轉(zhuǎn)動完成"擴大-縮小"的周期性變化,實現(xiàn)氣體的吸入與壓縮。某化工設(shè)備廠的測試數(shù)據(jù)顯示,當葉輪葉片傾角從15°增至25°時,壓縮機排氣量可提升12%,但功耗會增加8%,這表明葉片角度設(shè)計需在效率與能耗間找到平衡。葉...
壓縮階段:隨著轉(zhuǎn)子的繼續(xù)旋轉(zhuǎn),密封工作室逐漸縮小,將氣體壓縮。在這個過程中,氣體的壓力和溫度都會逐漸升高。排氣階段:當密封工作室縮小到一定程度時,氣體被壓縮到足夠的壓力,通過排氣口被排出泵外。此時,密封工作室又恢復(fù)到初始狀態(tài),準備進行下一輪的吸氣、壓縮和排氣過...
停機程序:按照規(guī)定的停機程序進行操作,先關(guān)閉進氣閥和排氣閥,再切斷電源,之后進行必要的清理和維護工作。定期維護保養(yǎng),維護保養(yǎng)計劃:制定詳細的維護保養(yǎng)計劃,并嚴格按照計劃執(zhí)行。定期對設(shè)備進行清潔、潤滑、緊固等維護保養(yǎng)工作,確保設(shè)備處于良好狀態(tài)。專業(yè)維護:對于需要...
同時,也可以將溫度傳感器的信號接入自動控制系統(tǒng),實現(xiàn)溫度的自動調(diào)節(jié)。通過控制干式真空泵的流量和壓力,也可以間接地控制泵體溫度。例如,在泵入口處安裝節(jié)流閥或調(diào)節(jié)閥,可以根據(jù)需要調(diào)整氣體流量和壓力,從而降低泵體內(nèi)部的溫度和壓力。但是,需要注意的是,過度調(diào)節(jié)可能會影...
渦輪分子泵-離子泵組合機組,適配真空度:10??-10?11Pa(極限約10?11Pa),重點優(yōu)勢:渦輪分子泵負責(zé)抽氣初期,離子泵維持超高真空(無油、無振動),典型應(yīng)用:半導(dǎo)體光刻(需10??-10?1?Pa)、量子芯片制備(需10??-10?11Pa),選型...
干式螺桿真空泵以其無油運行、高真空度、低噪音、長壽命等特點,在半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、電子、核能等新興行業(yè)得到了廣闊應(yīng)用。干式螺桿真空泵在處理腐蝕性氣體時,其材料選擇至關(guān)重要。泵體、螺桿、密封件等關(guān)鍵部件需要采用耐腐蝕材料,如不銹鋼、耐蝕合金、陶瓷或特殊涂層等。這些...