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  • 安徽激光器
    安徽激光器

    微納加工-激光掩模版的作用: 光刻掩模版,別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形,實(shí)現(xiàn)對(duì)光線的遮擋或透過(guò)功能,是微電子光刻工藝中的一個(gè)工具或者板材。我們利用光罩可以實(shí)現(xiàn)微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術(shù)主要有兩種:其一為激光直寫(xiě)技術(shù);其二為電子束直寫(xiě)部分,兩種技術(shù)區(qū)別在于光源不同,實(shí)現(xiàn)的精度有所區(qū)別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設(shè)計(jì)圖形,光線透過(guò)它,把設(shè)計(jì)圖形透射在光刻膠上,掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。我們可以通過(guò)把圖形做在掩模版上通過(guò)下一步曝光工藝(下期講解)轉(zhuǎn)移到我們的基底上,基底上有...

  • New Wave激光型號(hào)
    New Wave激光型號(hào)

    激光鉆孔加工常見(jiàn)的4種方法: 3.樹(shù)脂表面的直接成孔技術(shù):具體操作方式有以下4種:a.基板是用樹(shù)脂銅箔在內(nèi)層板上壓涂,然后將銅箔全部蝕刻除去,便可用CO2激光直接在樹(shù)脂表面打孔,再繼續(xù)按鍍覆工藝進(jìn)行打孔。b.用FR-4半固化片材及銅箔代替涂樹(shù)脂銅箔的工藝方法,與用銅箔制作相類似。C.涂覆感光樹(shù)脂及后續(xù)層壓銅箔的工藝方法。d.采用干膜作為介質(zhì)層,與銅箔一起進(jìn)行壓貼工藝制備。 4.超薄銅箔直接燒蝕的工藝方法:在用樹(shù)脂銅箔兩面壓覆內(nèi)層芯板后,可以用“半腐蝕法”將銅箔厚度17m經(jīng)腐蝕減薄至5微米,再經(jīng)過(guò)黑氧化處理,即可獲得CO2激光成孔。 激光應(yīng)用之激光傳感器;New Wave激光型號(hào)...

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