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廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-10-27

常規(guī)顯微鏡使用的技巧以及注意事項(xiàng):1、提取安放:提取時(shí),一手握住鏡臂,一手托鏡座。安放位置:鏡臂靠近身體略偏微左;鏡座距離試驗(yàn)臺(tái)邊緣大約5厘米。2、安放玻片:將玻片標(biāo)本放入壓片夾后部的空隙處,用雙手將玻片緩慢前推,動(dòng)作要輕,使標(biāo)本正對(duì)通光孔。3、調(diào)節(jié)光線:選較大的光圈對(duì)準(zhǔn)通光孔:左眼注視目鏡,雙手轉(zhuǎn)動(dòng)反光鏡,直到看見明亮視野為止,并用遮光器調(diào)節(jié)光線強(qiáng)弱程度。4、轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換器:緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)換器,使低倍物鏡對(duì)準(zhǔn)通光孔。5、調(diào)焦觀察:雙眼凝視物鏡,旋轉(zhuǎn)粗準(zhǔn)焦螺旋使鏡筒緩緩下降,直至物鏡接近玻片。左眼看目鏡,旋轉(zhuǎn)粗準(zhǔn)焦螺旋,使鏡筒緩緩上升,直至看到物象,再通過細(xì)準(zhǔn)焦螺旋微調(diào),使物象清晰。電子顯微鏡可分為透射電子顯微鏡,掃描電子顯微鏡,反射電子顯微鏡,連續(xù)切片電子顯微鏡等等。廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法

光學(xué)顯微鏡在失效分析中有哪些應(yīng)用?失效分析過程中,樣品形貌主要通過光學(xué)顯微鏡觀察和記錄,光學(xué)顯微鏡可以提供幾倍到上千倍的放大倍數(shù),另外光學(xué)顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體的某些多層結(jié)構(gòu)具有透明性,比如二氧化硅鈍化層。光學(xué)顯微鏡要求樣品是固體,在高倍觀測(cè)時(shí)由于景深的限制,要求樣品表面要平坦。應(yīng)用顯微鏡一般是先通過低倍顯微鏡觀察整體形貌和缺陷,然后用高倍顯微鏡進(jìn)一步確認(rèn)缺陷,比如裂紋,斷裂,沾污,變形等異常,常用的顯微鏡觀測(cè)方式有明場(chǎng),暗場(chǎng),干涉照明,偏振光,熒光顯微鏡等。光學(xué)顯微鏡明場(chǎng)照明的圖像是由反射光形成的,光源的入射光垂直射向樣品表面,從樣品表面反射后重新進(jìn)入物鏡,大部分的反射光線會(huì)返回,因而照明強(qiáng)度大,適用于表面平整的樣品,明場(chǎng)觀測(cè)到的發(fā)暗的或者不清晰的區(qū)域可能是由于表面不平所致。廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法顯微鏡總的放大倍數(shù)等于目鏡的放大倍數(shù)和物鏡放大倍數(shù)的乘積。

掃描電鏡即掃描電子顯微鏡,主要用于觀察樣品的表面形貌、割裂面結(jié)構(gòu)、管腔內(nèi)表面的結(jié)構(gòu)等。工作原理:掃描電鏡是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)。用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描,激發(fā)樣品表面放出二次電子,將產(chǎn)生的二次電子用特制的探測(cè)器收集,形成電信號(hào)運(yùn)送到顯像管,在熒光屏上顯示物體。(細(xì)胞、組織)表面的立體構(gòu)像,可攝制成照片。主要優(yōu)點(diǎn):景深長(zhǎng),所獲得的圖像立體感強(qiáng),可用來觀察生物樣品的各種形貌特征。

顯微鏡的基本光學(xué)原理:光線在均勻的各向同性介質(zhì)中,兩點(diǎn)之間以直線傳播,當(dāng)通過不同密度介質(zhì)的透明物體時(shí),則發(fā)生折射現(xiàn)象,這是由于光在不同介質(zhì)的傳播速度不同造成的。當(dāng)與透明物面不垂直的光線由空氣射入透明物體(如玻璃)時(shí),光線在其介面改變了方向,并和法線構(gòu)成折射角。透鏡是組成顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)的較基本的光學(xué)元件,物鏡目鏡及聚光鏡等部件均由單個(gè)和多個(gè)透鏡組成。依其外形的不同,可分為凸透鏡(正透鏡)和凹透鏡(負(fù)透鏡)兩大類。當(dāng)一束平行于光軸的光線通過凸透鏡后相交于一點(diǎn),這個(gè)點(diǎn)稱"焦點(diǎn)",通過交點(diǎn)并垂直光軸的平面,稱"焦平面"。焦點(diǎn)有兩個(gè),在物方空間的焦點(diǎn),稱"物方焦點(diǎn)",該處的焦平面,稱"物方焦平面";反之,在象方空間的焦點(diǎn),稱"象方焦點(diǎn)",該處的焦平面,稱"象方焦平面"。顯微鏡的照明方法按其照明光束的形成。

在光學(xué)顯微鏡的發(fā)展過程中,相襯鏡檢術(shù)的發(fā)明成功,是近代顯微鏡技術(shù)中的重要成就。我們知道,人眼只能區(qū)分光波的波長(zhǎng)(顏色)和振幅(亮度),對(duì)于無色通明的生物標(biāo)本,當(dāng)光線通過時(shí),波長(zhǎng)和振幅變化不大,在明場(chǎng)觀察時(shí)很難觀察到標(biāo)本。相襯顯微鏡利用被檢物體的光程之差進(jìn)行鏡檢,也就是有效地利用光的干涉現(xiàn)象,將人眼不可分辨的相位差變?yōu)榭煞直娴恼穹睿词故菬o色透明的物質(zhì)也可成為清晰可見。這極大便利了胞的觀察,因此相襯鏡檢法普遍應(yīng)用于倒置顯微鏡中。相襯鏡檢法在裝置上與明場(chǎng)不同,有一些特殊要求:a.環(huán)狀光闌(Ringslit):裝在聚光鏡的下方,而與聚光鏡組合為一體---相襯聚光鏡。它是由大小不同的環(huán)形光闌裝在一圓盤內(nèi),外面標(biāo)有10X、20X、40X、100X等字樣,與相對(duì)應(yīng)倍數(shù)的物鏡配合使用。b.相板(Phaseplate):裝在物鏡的后焦平面處,它分為兩部分,一是通過直射光的部分,為半透明的環(huán)狀,叫共軛面;另一是通過衍射光的部分,?quot;補(bǔ)償面"。有相板的物鏡稱"相襯物鏡",外殼上常有"Ph"字樣。顯微鏡突破了人類的視覺極限,使之延伸到肉眼無法看清的細(xì)微結(jié)構(gòu)。廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法

顯微鏡這類產(chǎn)品是一種尤其精密的儀器,一定要小心輕放。廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法

顯微鏡聚光器的用法:(1)聚光器高度的調(diào)節(jié)通常的聚光鏡,在平行光照射的狀況下,其焦點(diǎn)落在它上端透鏡平面中心上邊約1.25毫米處。當(dāng)應(yīng)用高倍鏡或油鏡時(shí),因?yàn)榉糯舐蚀螅R像亮度小,需要比較強(qiáng)的照明。因而,應(yīng)把聚光器升至高,以便于使聚光鏡的焦點(diǎn)恰好落在標(biāo)本平面上。但在應(yīng)用低倍物鏡時(shí),可將聚光器適度降低。(2)可變光欄的用法可變光欄起兩個(gè)作用。一個(gè)是控制射向標(biāo)本的光通量;二是改變聚光器的數(shù)值孔徑。在這兩個(gè)作用中,后者是主要的。為了使物鏡的分辨率得到充分的利用,從原則上說,聚光器的數(shù)值孔徑應(yīng)與物鏡的相同。要不然,分辨率或清晰度會(huì)受影響。廣州半導(dǎo)體顯微鏡使用方法

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