(1) 式中：W為莫爾條紋寬度；d為光柵柵距（節距）；θ為兩塊光柵的夾角，rad在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與羊向功能。本系統采用的光柵尺柵線為50線對/mm，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在一般工業測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，我們采用了由低漂移運放構成的差分放大器。由4個滏電器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波，經由兩個與或非門74LS54芯片組成的四細分判向電路輸入可逆計數器，***送入由8031組成的單片機系統中進行處理。光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。張家港附近光柵尺量大從優

5、光柵尺線位移傳感器檢查光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表，移動工作臺，觀察數顯表計數是否正常。在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表），使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據），往返多次后回到初始位置，觀察數顯表與千分表的數據是否一致。通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環境來講，鐵屑、切削液及油污較多。因此，傳感器應附帶加裝護罩，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力 [2]。太倉安裝光柵尺維保盡可能外加保護罩，并及時清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進入光柵尺傳感器殼體內部。

合理選取光柵尺，正確使用使其物盡其能；也有互相矛盾的一面，安裝位置既要盡可能靠近驅動軸線，又要盡量遠離機床的發熱源(如絲杠副)，這就要看機床設計師，怎樣兼顧折衷考慮各方面因素，綜合考慮光柵尺選型、設計、安裝、捌試等因素，得到比較合理的性價比，勢必取得比較好的控制檢測效果。?通過以上幾個步驟的調試，一臺數控機床一般都能獲得很好的位置精度(定位精度、重復定位精度)，達到機床設計要求，能很容易滿足用戶的需求，對數控機床的制造廠家和使用用戶有著非凡的現實意義 [3]。

（6） 光柵傳感器嚴禁劇烈震動及摔打，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光柵傳感器即失效了。（7） 不要自行拆開光柵傳感器，更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報廢。（8） 應注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測量誤差。（9） 光柵傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質量。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。

柱鏡光柵1.膜材：沒有介質，必須粘在有機板、玻璃上；玻璃又有不同的厚度，越厚，立體效果越明顯。2.  PET水晶模材：比PET膜材厚一些，一面光滑，一面發涉。3.PET模材：比較薄；兩面發涉。片材：厚度超過2.5mm稱為片材，低于2.5mm的稱為薄膜（市場上的叫法）。板材：本身就有介質，不需要再加介質，價格比較昂貴，120元/平方。狹縫光柵：表面光滑，配合燈光效果較好。有顏色。常用分辨率：單位均為（像素/厘米），切不記錯。通過對方波脈沖進行計數，可以得到光柵尺的位移和速度 [1]。常熟通用光柵尺選擇

(2)該基座通過銑、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內。張家港附近光柵尺量大從優

(3)均化誤差作用莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。檢測與數據處理電子細分與判向法光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。張家港附近光柵尺量大從優

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