雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀，以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過(guò)分束后分別作為參考光和測(cè)量光。測(cè)量光經(jīng)移動(dòng)目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號(hào)，通過(guò)檢測(cè)差頻的變化來(lái)計(jì)算位移量。具體來(lái)說(shuō)：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩(wěn)定），另一路為測(cè)量光（頻率經(jīng)被測(cè)物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。抗干擾能力強(qiáng)：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng)。虎丘區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：1. 線性：0.5ppm .2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg虎丘區(qū)新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹干涉儀是一種用于測(cè)量光波或其他波動(dòng)現(xiàn)象的儀器，利用干涉原理來(lái)分析波的特性。

按照干涉光來(lái)源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***，主要有如下幾方面：長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或***測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來(lái)以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測(cè)量精度可達(dá)到1/10-1/100波長(zhǎng)量級(jí)，采用半導(dǎo)體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景的批量檢測(cè) [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號(hào)產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量口徑設(shè)計(jì)，可滿足不同使用場(chǎng)景需求 [2-4]。截至2025年，相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國(guó)內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發(fā)明，主要用于測(cè)量光的波長(zhǎng)、干涉條紋的變化等。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀**終擺脫了計(jì)量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中因此，對(duì)于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對(duì)該儀器的了解，以致于改進(jìn)其性能，使其在計(jì)量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。實(shí)時(shí)測(cè)量：可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集，適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。虎丘區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

干涉圖樣分析：通過(guò)觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。虎丘區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長(zhǎng)度很大，干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦?hào)，并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái)，從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度，比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢，精度達(dá)到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。虎丘區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

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