多普勒效應：當測量鏡移動時，測量光的頻率變為f1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉為電信號，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米（μm）量級，細分后更可達到納米（nm）量級。應用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。激光器產生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應或聲光調制），頻率分別為f1和f2。昆山耐用雙頻激光干涉儀量大從優

（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。高新區安裝雙頻激光干涉儀維保利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。

干涉儀是很***的一類實驗技術的總稱， 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息， 從而獲得實驗所關心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學 (Thompson et al, 2001) [1]， 光學， 工程測量， 海洋學， 地震學， 波譜分析， 量子物理實驗， 遙感， 雷達等等精密測量領域都有廣泛應用（Hariharan， 2007） [2]。具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發生變化， 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為

工程測量：用于高精度的長度測量和地形測量。波譜分析：用于分析光譜的精細結構和超精細結構。量子物理實驗：用于研究量子光學、原子物理學等領域的物理現象。五、發展歷史與現狀19世紀的波動論者認為光波或電磁波必須在彈性介質中才得以傳播，這種假想的彈性介質稱為以太。人們做了一系列實驗來驗證以太的存在并探求其屬性，以干涉原理為基礎的實驗**為精確，其中**有名的是菲佐實驗和邁克耳孫-莫雷實驗。隨著激光器的發展，干涉儀開始使用激光作為光源，提高了測量的精度和穩定性。到了20世紀70年代以后，隨著計算機技術的發展，將激光干涉儀和電子計算機綜合起來的許多新的干涉儀，可以實現實時測量。目前，干涉儀已經成為一種重要的精密測量工具，在各個領域發揮著重要作用。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。

雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進行干涉測量的儀器。它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。雙頻激光干涉儀的工作原理基于光的干涉現象，即當兩束相干光相遇時，會產生干涉條紋，條紋的變化可以用來精確測量物體的位移或其他物理量。主要特點和應用：高精度：雙頻激光干涉儀能夠實現亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測?？垢蓴_能力強：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對環境噪聲和振動的抗干擾能力較強。光電探測器將光信號轉為電信號，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數來計算位移。常熟安裝雙頻激光干涉儀設備廠家

激光發射：激光器發出單色光束。昆山耐用雙頻激光干涉儀量大從優

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5. 全套系統重量*15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。昆山耐用雙頻激光干涉儀量大從優

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