雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。用穩頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；太倉新款雙頻激光干涉儀單價

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設計，通過對比被測平面與標準參照鏡的干涉條紋變化，實現光學元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標準參照鏡面形精度通常達到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準方式：兩點對準系統 [3-4]結構特性：小型化設計、防塵性能優異 [3-4]精度范圍：根據型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學元件表面面型2.質量檢測：評估光學材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環境下進行精密光學計量分析吳中區定制雙頻激光干涉儀哪家強雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經過透射和反射后，來到觀察區域E。G2（右）為補償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等，兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時，表現為等傾干涉的圓環形條紋，移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時，中心就會“吐出”一個個條紋；反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時，則表現為等厚干涉條紋，移動M2時，條紋不斷移過視場中某一標記位置，M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。

光源：提供相干光，通常是激光，因為激光具有高度的相干性，能夠產生穩定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調節光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結果，或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類，常見的分類方法包括：按結構區分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。工業園區安裝雙頻激光干涉儀量大從優

邁克爾遜干涉儀：由阿爾伯特·邁克爾遜發明，主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。太倉新款雙頻激光干涉儀單價

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現高精度線性位移測量，適用于車間生產環境下的數控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優勢包括緊湊設計、自動環境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。太倉新款雙頻激光干涉儀單價

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