9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節變得十分容易，送風壓力穩定。同時潔凈室凈化空調系統的送風機采用變頻調速后節能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續送電加熱會造成設備損壞甚至發生火災，本條強制性規定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。上海潔凈度潔凈室檢測誠信推薦

9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室（區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測評估潔凈環境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求，這是理所當然的。

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設計用于控制環境污染的封閉空間。江蘇塵埃粒子潔凈室檢測技術好

應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。上海潔凈度潔凈室檢測誠信推薦

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規定：1潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規定：1潔凈室(區）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室（區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。上海潔凈度潔凈室檢測誠信推薦