過程跟蹤使用檢查設(shè)備來監(jiān)視生產(chǎn)過程。典型地包括詳細的缺陷分類和元件貼放偏移信息。當產(chǎn)品可靠性很重要、低混合度的大批量制造、和元件供應(yīng)穩(wěn)定時，制造商優(yōu)先采用這個目標。這經(jīng)常要求把檢查設(shè)備放置到生產(chǎn)線上的幾個位置，在線地監(jiān)控具體生產(chǎn)狀況，并為生產(chǎn)工藝的調(diào)整提供必要的依據(jù)。雖然AOI可用于生產(chǎn)線上的多個位置，各個位置可檢測特殊缺陷，但AOI檢查設(shè)備應(yīng)放到一個可以盡早識別和改正**多缺陷的位置。有三個檢查位置是主要的：運用豐富的多功能檢測算法和二元或灰度水平光學(xué)成像處理技術(shù)進行檢測.工業(yè)園區(qū)整套自動化缺陷檢測設(shè)備哪里買

由于缺乏無鉛元件，轉(zhuǎn)到使用無鉛元件是分階段進行的。在2004年，由于要求電子產(chǎn)品的體積越來越小，迫使制造商***地用0402元件來取代0603元件和0805元件。工藝條件除了普遍使用的0402元件，印刷電路板的***次合格率（FPY）必須達到95%，而且必須根據(jù)印刷電路協(xié)會（IPC）的2級標準來檢測缺陷。例如，在有608個焊點的168元件的情況下，相當于要求誤報率是百萬分之65。為了達到FPY的要求，在檢測缺陷時必須考慮以下條件：元件長度的公差、元件供應(yīng)商、貼片公差、在25 個AOI系統(tǒng)上的全球檢測數(shù)據(jù)庫、有80個獨特產(chǎn)品的全球檢測數(shù)據(jù)庫、無鉛焊料、不同的電路板供應(yīng)商以及檢測質(zhì)量要達到IPC的2級標準。太倉通用自動化缺陷檢測設(shè)備批量定制制定設(shè)計方針，可以有效地簡化檢查和降低生 產(chǎn)成本。

● 對于不同產(chǎn)品的AOI全球檢查庫，有可能在當?shù)剡M行調(diào)整──這是AOI軟件必備的特性。● 貼片公差——進料器常規(guī)的維護和校準。● 確定檢查質(zhì)量：IPC標準2級——必須允許使用朝下的電阻器。組件趐起和共面性的檢測必須可靠。關(guān)于元件長度公差，不同的組件供應(yīng)商、電路板和無鉛焊料的供應(yīng)商都不可能沒有任何直接的影響。優(yōu)良的AOI程序應(yīng)該能夠應(yīng)付這些這影響。如果這些個別點的變化可以保持不變，那么就能夠相當大地簡化AOI編程。經(jīng)研究得到的結(jié)論是，由于無鉛產(chǎn)生的影響，圖形對照系統(tǒng)無法得到適合的檢查結(jié)果，這是因為合格的樣品變化太大。

缺陷類型：微粒缺陷（如異物污染）圖形缺陷（如光刻圖案偏移） [1-3]2.檢測精度：可實現(xiàn)0.2微米級缺陷的識別，滿足45納米工藝節(jié)點的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量：每小時處理20片300毫米晶圓（基于2021年技術(shù)標準） [1] [3]適用工藝：45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測，覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟，確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號設(shè)備（截至2020年），同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。回流焊后檢查提供高度的安全性，因為它識別由錫膏印刷、元件貼裝和回流過程引起的錯誤。

更加可行的方法是，取出確定每道工藝和元件變化的特性。這些變化可以分成不同的等級。如果在使用的工藝中，出現(xiàn)了一個新的變化，就要增加一個級別，來保證檢查的精確性。所有認識到的和已知的缺陷都儲存起來，他們的類型和圖片可以用于AOI系統(tǒng)和全球數(shù)據(jù)庫里的檢查程序。我們沒有必要把一塊不同缺陷的電路板保存起來用于詳細的檢查。用AOI軟件核實真正的缺陷AOI軟件中有一個綜合性的驗證功能，它能減少檢查的誤報，保證檢測程序無缺陷。它可以檢查儲存起來的有缺陷的樣品，例如，修理站存放的樣品，以及印刷了焊膏的空白印刷電路板。多工位檢測設(shè)備可同步完成托盤正反兩面12項缺陷檢測，單日處理量超過5000件 [3]。吳中區(qū)本地自動化缺陷檢測設(shè)備銷售電話

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錫膏印刷之后如果錫膏印刷過程滿足要求，那么ICT發(fā)現(xiàn)的缺陷數(shù)量可大幅度的減少。典型的印刷缺陷包括以下幾點：A.焊盤上焊錫不足。B.焊盤上焊錫過多。C.焊錫對焊盤的重合不良。D.焊盤之間的焊錫橋。在ICT上，相對這些情況的缺陷概率直接與情況的嚴重性成比例。輕微的少錫很少導(dǎo)致缺陷，而嚴重的情況，如根本無錫，幾乎總是在ICT造成缺陷。焊錫不足可能是元件丟失或焊點開路的一個原因。盡管如此，決定哪里放置AOI需要認識到元件丟失可能是其它原因下發(fā)生的，這些原因必須放在檢查計劃內(nèi)。這個位置的檢查**直接地支持過程跟蹤和特征化。這個階段的定量過程控制數(shù)據(jù)包括，印刷偏移和焊錫量信息，而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會產(chǎn)生。工業(yè)園區(qū)整套自動化缺陷檢測設(shè)備哪里買

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