國瑞熱控依托 10 余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求。服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤。配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用 ANSYS 溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短 10 個工作日，且提供 3 次**方案迭代。已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求。多種規格靈活定制，國瑞加熱盤滿足您的特殊應用需求。山東高精度均溫加熱盤供應商

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件，實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線，支持多臺加熱盤同時監控，方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能，可自動記錄加熱過程中的溫度參數，存儲時間長達 1 年，便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能，當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時，自動發出聲光報警并記錄異常信息，提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統，通過以太網與加熱盤控制系統連接，安裝調試便捷，適配國瑞全系列半導體加熱盤，為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。青浦區半導體加熱盤生產廠家低熱容設計升溫降溫快，實現高效熱循環，適合快速變溫工藝。

無錫國瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤，專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩定基底。內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓。設備整體采用無揮發潔凈工藝處理，在高真空環境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達 30℃/ 分鐘），完美契合 PVD 工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐。

針對化學氣相沉積工藝的復雜反應環境，國瑞熱控 CVD 電控加熱盤以多維技術創新**溫控難題。加熱盤內置多區域**溫控模塊，可根據反應腔不同區域需求實現差異化控溫，溫度調節范圍覆蓋室溫至 600℃，滿足各類 CVD 反應的溫度窗口要求。采用特種絕緣材料與密封結構設計，能耐受反應腔內部腐蝕性氣體侵蝕，同時具備 1500V/1min 的電氣強度，無擊穿閃絡風險。搭配高精度鉑電阻傳感器，實時測溫精度達 ±0.5℃，通過 PID 閉環控制確保溫度波動小于 ±1℃，為晶圓表面材料的均勻沉積與性能穩定提供關鍵保障，適配集成電路制造的規模化生產需求。快速交付承諾，標準產品現貨供應，定制產品周期短響應快。

國瑞熱控針對離子注入后雜質***工藝，開發**加熱盤適配快速熱退火需求。采用氮化鋁陶瓷基材，熱導率達 200W/mK，熱慣性小，升溫速率達 60℃/ 秒，可在幾秒內將晶圓加熱至 1000℃，且降溫速率達 40℃/ 秒，減少熱預算對晶圓的影響。加熱面采用激光打孔工藝制作微小散熱孔，配合背面惰性氣體冷卻，實現晶圓正反面溫度均勻（溫差小于 2℃）。配備紅外高溫計實時監測晶圓表面溫度，測溫精度 ±2℃，通過 PID 控制確保溫度穩定，適配硼、磷等不同雜質的***溫度需求（600℃-1100℃）。與應用材料離子注入機適配，使雜質***率提升至 95% 以上，為半導體器件的電學性能調控提供關鍵支持。專業團隊技術支持，從選型到安裝全程指導，解決您的后顧之憂。連云港高精度均溫加熱盤廠家

密封式設計可選，防潮防塵耐腐蝕，適用復雜環境。山東高精度均溫加熱盤供應商

國瑞熱控 8 英寸半導體加熱盤聚焦成熟制程需求，以高性價比與穩定性能成為中低端芯片制造的推薦。采用鋁合金基體經陽極氧化處理，表面平整度誤差小于 0.03mm，加熱面溫度均勻性控制在 ±2℃以內，滿足 65nm 至 90nm 制程的溫度要求。內部采用螺旋狀鎳鉻加熱絲，熱效率達 85% 以上，升溫速率 15℃/ 分鐘，工作溫度上限 450℃，適配 CVD、PVD 等常規工藝。設備配備標準真空吸附接口與溫控信號端口，可直接替換 ULVAC、Evatec 等國際品牌同規格產品，安裝無需調整現有生產線布局。通過 1000 小時高溫老化測試，故障率低于 0.1%，為功率器件、傳感器等成熟制程芯片制造提供穩定支持。山東高精度均溫加熱盤供應商

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！