國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低 30%，熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達 ±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環，在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。熱響應速度快，快速達溫穩定，減少等待提升效率。楊浦區晶圓加熱盤非標定制

面向深紫外光刻工藝對晶圓預處理的需求，國瑞熱控配套加熱盤以微米級溫控助力圖形精度提升。采用鋁合金基體與石英玻璃復合結構，加熱面平面度誤差小于 0.01mm，確保晶圓與光刻掩膜緊密貼合。通過紅外加熱與接觸式導熱協同技術，升溫速率達 15℃/ 分鐘，溫度調節范圍 60℃-120℃，控溫精度 ±0.3℃，適配光刻膠軟烘、堅膜等預處理環節。表面經防反射涂層處理，減少深紫外光反射干擾，且具備快速冷卻功能，從 120℃降至室溫*需 8 分鐘，縮短工藝間隔。與上海微電子光刻機適配，使光刻圖形線寬偏差控制在 5nm 以內，滿足 90nm 至 28nm 制程的精密圖形定義需求。常州高精度均溫加熱盤非標定制工業級耐用加熱盤，耐腐蝕抗沖擊，適應嚴苛工況，保障生產連續性。

針對車載半導體高可靠性需求，國瑞熱控測試加熱盤適配 AEC-Q100 標準。采用**級鋁合金基材，通過 - 55℃至 150℃高低溫循環測試 5000 次無變形，加熱面平整度誤差小于 0.03mm。溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 200℃，升降溫速率達 30℃/ 分鐘，可模擬車載芯片在極端環境下的工作狀態。配備 100 組可編程溫度曲線，支持持續 1000 小時老化測試，與比亞迪半導體、英飛凌等企業適配，通過溫度沖擊、濕熱循環等可靠性驗證，為新能源汽車電控系統提供質量保障。

面向先進封裝 Chiplet 技術需求，國瑞熱控**加熱盤以高精度溫控支撐芯片互聯工藝。采用鋁合金與陶瓷復合基材，加熱面平面度誤差小于 0.02mm，確保多芯片堆疊時受熱均勻。內部采用微米級加熱絲布線，實現 1mm×1mm 精細溫控分區，溫度調節范圍覆蓋室溫至 300℃，控溫精度 ±0.3℃，適配混合鍵合、倒裝焊等工藝環節。配備壓力與溫度協同控制系統，在鍵合過程中同步調節溫度與壓力參數，減少界面缺陷。與長電科技、通富微電等企業適配，支持 2.5D/3D 封裝架構，為 AI 服務器等高算力場景提供高密度集成解決方案。密封式設計可選，防潮防塵耐腐蝕，適用復雜環境。

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件，實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線，支持多臺加熱盤同時監控，方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能，可自動記錄加熱過程中的溫度參數，存儲時間長達 1 年，便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能，當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時，自動發出聲光報警并記錄異常信息，提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統，通過以太網與加熱盤控制系統連接，安裝調試便捷，適配國瑞全系列半導體加熱盤，為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。特殊尺寸功率定制，快速響應需求，量身打造方案。青浦區陶瓷加熱盤生產廠家

結構設計緊湊合理，安裝維護簡便快捷，有效提升設備使用效率。楊浦區晶圓加熱盤非標定制

國瑞熱控建立半導體加熱盤全生命周期服務體系，為客戶提供從選型咨詢到報廢回收的全流程支持。售前提供工藝適配咨詢，結合客戶制程需求推薦合適型號或定制方案；售中提供安裝調試指導，確保加熱盤與設備精細對接，且提供操作培訓服務；售后提供7×24小時技術支持，設備故障響應時間不超過2小時，維修周期控制在5個工作日以內，同時提供定期巡檢服務（每季度1次），提前排查潛在問題。此外，針對報廢加熱盤提供環保回收服務，對可回收材質（如不銹鋼、鋁合金）進行分類處理，符合國家環保標準。該服務體系已覆蓋國內30余省市的半導體企業，累計服務客戶超200家，以專業服務保障客戶生產線穩定運行，構建長期合作共贏關系。楊浦區晶圓加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！