MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統的重要組成部分，MEMS傳感器是實現微機電系統感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術，即微電子制造技術和微機械加工制造技術，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統傳感器有相當大的區別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應工作的，它的制作工藝結合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現，通過對材料的微機械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數的穩定的結構器件(如梁、膜、叉指等單一或復合的結構)，從而實現對各種相關參數的感知、測試和轉換霍爾電壓隨磁場強度的變化而變化，磁場越強，電壓越高，磁場越弱，電壓越低。閔行區標準傳感器廠家現貨

應用領域：視覺傳感器的低成本和易用性已吸引機器設計師和工藝工程師將其集成入各類曾經依賴人工、多個光電傳感器，或根本不檢驗的應用。視覺傳感器的工業應用包括檢驗、計量、測量、定向、瑕疵檢測和分撿。以下只是一些應用范例：在汽車組裝廠，檢驗由機器人涂抹到車門邊框的膠珠是否連續，是否有正確的寬度；在瓶裝廠，校驗瓶蓋是否正確密封、裝灌液位是否正確，以及在封蓋之前沒有異物掉入瓶中；在包裝生產線，確保在正確的位置粘貼正確的包裝標簽；浦東新區標準傳感器品牌熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關的參數。

生物傳感器的分類按照其感受器中所采用的生命物質分類，可分為：微生物傳感器、免疫傳感器、組織傳感器、細胞傳感器、酶傳感器、DNA傳感器等等。按照傳感器器件檢測的原理分類，可分為：熱敏生物傳感器、場效應管生物傳感器、壓電生物傳感器、光學生物傳感器、聲波道生物傳感器、酶電極生物傳感器、介體生物傳感器等。按照生物敏感物質相互作用的類型分類，可分為親和型和代謝型兩種。視覺工作原理：傳感器（圖12）視覺傳感器是指：具有從一整幅圖像捕獲光線的數以千計像素的能力，圖像的清晰和細膩程度常用分辨率來衡量，以像素數量表示。

基于VTI公司的MEMS加速度傳感器，提出一種無創胎心檢測方法，研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫療輔助儀器。通過加速度傳感器將胎兒心率轉換成模擬電壓信號，經前置放大用的儀器放大器實現差值放大。然后進行濾波等一系列中間信號處理，用A/D轉換器將模擬電壓信號轉換成數字信號。通過光隔離器件輸入到單片機進行分析處理，***輸出處理結果。基于MEMS加速度傳感器設計的胎兒心率檢測儀在適當改進后能夠以此為終端，做一個遠程胎心監護系統。醫院端的**信號采集分析監護主機給出自動分析結果，醫生對該結果進行診斷，如果有問題及時通知孕婦到醫院來。該技術有利于孕婦隨時檢查胎兒的狀況，有利于胎兒和孕婦的健康。利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點可實現無接觸遠距離測量。

用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片，硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視，尤其是以測量壓力和速度的固態壓阻式傳感器應用**為普遍。熱電阻傳感器（圖6）熱電阻測溫是基于金屬導體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來進行溫度測量的。熱電阻大都由純金屬材料制成，應用**多的是鉑和銅，此外，已開始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關的參數。在溫度檢測精度要求比較高的場合，這種傳感器比較適用。較為***的熱電阻材料為鉑、銅、鎳等，它們具有電阻溫度系數大、線性好、性能穩定、使用溫度范圍寬、加工容易等特點。用于測量-200℃～+500℃范圍內的溫度。在利用信息的過程中，首先要解決的就是要獲取準確可靠的信息，而傳感器是獲取自然和生產領域中信息的主要途徑與手段。閔行區標準傳感器廠家現貨

、開關型霍爾傳感器由穩壓器、霍爾元件、差分放大器，斯密特觸發器和輸出級組成，它輸出數字量。閔行區標準傳感器廠家現貨

2、浮筒式液位傳感器浮筒式液位傳感器是將磁性浮球改為浮筒，它是根據阿基米德浮力原理設計的。浮筒式液位傳感器是利用微小的金屬膜應變傳感技術來測量液體的液位、界位或密度的。它在工作時可以通過現場按鍵來進行常規的設定操作。3、靜壓或液位傳感器該傳感器利用液體靜壓力的測量原理工作。它一般選用硅壓力測壓傳感器將測量到的壓力轉換成電信號，再經放大電路放大和補償電路補償，***以4～20mA或0～10mA電流方式輸出。真空度真空度傳感器，采用先進的硅微機械加工技術生產，以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的**元件制成的***壓力變送器，由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔，及一系列無應力封裝技術及精密溫度補償技術，因而具有穩定性優良、精度高的突出優點，適用于各種情況下***壓力的測量與控制。閔行區標準傳感器廠家現貨

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