探針臺操作步驟：1.將測試產品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）;3.打開背光面板光源開關;4.調整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點針操作步驟：1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置，將三軸歸零;3.調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過調整焦距使針尖達到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后，逆時針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關移動機構時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.半導體設備市場中，探針臺是我國目前能實現高國產化率的設備。武漢桌面探針臺

自動探針臺是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產型全自動晶圓探針臺，通過使探針卡與晶圓Pad點之間精細接觸，實現完成晶圓WAT/CP測試，該設備操作簡單并具有良好的機械穩定性，能為客戶提供一個具有成本優勢且高產量的晶圓測試解決方案，滿足晶圓廠、封測廠、測試廠等不同客戶的測試需求。經過不斷的技術迭代更新，A系列全自動探針臺已擁有同步國外的先進技術：低噪聲、快速移動、高產能、采用缺口和晶圓ID同步識別，減少了晶圓的加載時間；低重心設計，支持高針數探針卡，江蘇MOSFET探針臺OTS，QPU和TTG相關技術，這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。

探針臺的各種應用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級可靠性，故障分析，設計驗證，和大功率。滿足先進半導體測試市場的要求，主要用于解決故障分析，設計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測試的特殊要求。系統噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測量。用于在寬溫度范圍內實現功率半導體的低接觸電阻測量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統關閉儀器，從而保護用戶免受意外高壓沖擊。該系統具有后門，并由互鎖保護，以提供簡便的初始測量設置。

手動探針臺是廣泛應用于半導體行業的綜合經濟型測試儀器，主要用于半導體芯片的電參數檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應大型電參數測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應用范圍：手動探針臺主要用于對生產及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。高溫無氧化測試：當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。半導體測驗設備首要包含測機、探針臺和分選機。

桌面探針系統之射頻探針：把傳統探針臺的體積大、待測物規格限制等一系列缺點改進。我們把探針臺的兩個探針臂直接分離出來，使用磁吸開關固定在配重塊上，裝配我們自行研發GS/SG/GSG/GSSG和差分間距可調射頻探針，高頻率40GHz和67GHz（質量的阻抗控制50歐±2/100歐±2，探針的pitch可覆蓋150um~1250um的范圍）放在水平的桌面上進行使用、測試。可在桌面上任意活動，根據具體測試環境調節。各規格探針配合67GHz網絡分析儀進行高頻高速的測試。先進半導體探針測試系統。micro LED探針臺系統

光電流測試探針臺系統。武漢桌面探針臺

    探針臺的工作原理1.探針臺工作原理將待測物吸附在載物臺上后推入探針臺腔體內，利用探針座精密移動探針，通過顯微鏡的觀察，將探針與待測物接觸，然后將探針座上的電纜與儀表連接，通過自帶的軟件實現器件的參數測量和提取。結果方便保留對比查看。2.探針臺功能通過連接儀器及待測物實現器件的參數提取，通過自帶的驅動及測試軟件能夠實現器件的電學特性測試，為精密器件提供一個良好的系統平臺，探針臺可以搭配多種測試儀器使用，比如示波器，頻譜儀，IV等等。3.探針臺用途探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。芯片制造結束后即可在線測試，從源頭即可監控。探針臺用于對集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數等性能測試與表征，是研究中不可缺少的基本設備。4.探針臺系統性能指標可以實現通過軟件對晶片載臺X，Y，Z，探針臺可搭載光纖，未來可升級滿足光電測試載物臺在XY方向：±1pm分辨率、小于2μm重復精度、大于50mm/sec的移動速度。 武漢桌面探針臺

上海波銘科學儀器有限公司成立于2013-06-03年，在此之前我們已在拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器行業中有了多年的生產和服務經驗，深受經銷商和客戶的好評。我們從一個名不見經傳的小公司，慢慢的適應了市場的需求，得到了越來越多的客戶認可。公司業務不斷豐富，主要經營的業務包括：拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器等多系列產品和服務。可以根據客戶需求開發出多種不同功能的產品，深受客戶的好評。愛特蒙特嚴格按照行業標準進行生產研發，產品在按照行業標準測試完成后，通過質檢部門檢測后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務，用心服務于客戶。愛特蒙特秉承著誠信服務、產品求新的經營原則，對于員工素質有嚴格的把控和要求，為拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器行業用戶提供完善的售前和售后服務。