微納加工-激光掩模版的作用：

光刻掩模版，別稱“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”，一般使用玻璃或者石英表面覆蓋帶有圖案的金屬圖形，實現對光線的遮擋或透過功能，是微電子光刻工藝中的一個工具或者板材。我們利用光罩可以實現微電子工藝中的圖形傳遞。光刻掩模版的加工技術主要有兩種：其一為激光直寫技術；其二為電子束直寫部分，兩種技術區別在于光源不同，實現的精度有所區別。掩模版是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設計圖形，光線透過它，把設計圖形透射在光刻膠上，掩膜版的功能類似于傳統照相機的“底片”。我們可以通過把圖形做在掩模版上通過下一步曝光工藝（下期講解）轉移到我們的基底上，基底上有對應的相關圖形了，但是通過曝光基底上還沒有刻上圖形，只是光刻膠有了相關圖形。光刻膠的是一種對光敏感的材料，通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發生變化。有可能會變容易溶解也可能變得不容易，這時候再通過顯影液，不穩定的部分將會被處理掉，剩下的就是我們想要的圖形。 激光應用之激光成型；安徽激光器

常見、有代表性的激光應用之激光雷達：激光雷達用激光器作為輻射源，是激光技術與雷達技術相結合的產物 。由發射機 、天線 、接收機 、跟蹤架及信息處理等部分組成。發射機是各種形式的激光器，如二氧化碳激光器、摻釹釔鋁石榴石激光器、半導體激光器及波長可調諧的固體激光器等；天線是光學望遠鏡；接收機采用各種形式的光電探測器，如光電倍增管、半導體光電二極管、雪崩光電二極管、紅外和可見光多元探測器件等。激光雷達采用脈沖或連續波2種工作方式，探測方法分直接探測與外差探測。 HSL-4000激光系統激光技術是20世紀與原子能、半導體及計算機齊名的四項重大發明之一。

激光機常見故障以及解決方法：六、電腦不能輸出1、檢查軟件參數設置是否正常（重新設置）；2、雕刻機是否先按定位起動再輸出（重新輸出）；3、檢查機器是否事先沒復位（重新更正）；4、檢查輸出串口是否與軟件設置串口一致（重新設置）；5、檢查地線是否可靠，靜電是否干擾數據線（重新接地）；6、更換電腦串口輸出測試；7、重新安裝軟件并重新設置測試；8、格式化電腦系統盤重新安裝軟件測試；9、主板串口損壞需維修或更換。七、電腦常見問題1、字體逐漸減少（重新安裝操作系統）；2、數據量太大不能計算激光路徑（等待一段時間或加大電腦內存）；3、計算路徑長時間沒響應，重新啟動電腦測試

掩模版激光都有哪些種類？

普通版：一般使用蘇打玻璃或者石英，常見2寸到10寸，線寬一般在1um以上，主要用戶接觸式曝光機，轉移圖形與版圖尺寸為1:1，實現同比例的圖形轉移。

Stepper版：一般使用石英版，常見為5寸和6寸版，線寬一般在500nm以上，主要用于Stepper曝光機臺，轉移圖形與版圖尺寸實際比例一般是4:1或者5:1，實現將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。

納米壓印版：一般用石英版，刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合，尺寸一般需要5寸及以上，采用電子束直寫的技術實現表面nm圖形的轉移，一般線寬在200~800nm左右，借助掩模版對光刻膠的壓力、同時輔助紫外曝光，實現納米級圖形的轉移。

金屬掩模版：一把采用不銹鋼，在不銹鋼表面通過激光加工的方式，實現表面鏤空的圖形設計，線寬一般要20um，能夠用于電子束蒸發、磁控濺射中，用于電極圖形的轉移。 激光應用之激光雕刻；

日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界認同等級修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列無論在設計，制造上HOYA采用比較先進的光學技術HOYA光學技術的結晶徹底追求加工穩定度的較好品質小型YAG激光系統HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光學技術活用于設計、制造上，創造出比較好可多段多變功率輸出且高穩定性的激光裝置。能同時實現微細加工與高輸出能量的大面積加工之激光系統從比較小0.5μm到比較大300μm，對半導體及FPD金屬薄膜的微細加工到ColorFilter的大面積加工都可以對應。另外，比較大頻率可到50Hz，也可用在各種應用層面上。保養及維修的特性燈泡容易替換微納加工-激光掩模版的作用；OLED激光故障分析

激光開封機主要應用有哪些呢？安徽激光器

激光鉆孔加工常見的4種方法1.開銅窗法：先將RCC(涂上樹脂的銅箔層)復壓于內層板上，用光化方法制作窗口，然后用蝕刻露出樹脂，再用激光燒除窗口內基材材料形成微盲孔。2.開大窗法：將銅窗直徑增大到0.05mm左右，比底墊還大(通常根據孔徑大小確定)，當孔徑為0.15mm時，底墊直徑應在0.25mm左右，其大窗口直徑為0.30mm。然后進行激光照射，即可燒出微盲孔，這樣位置準確，可用于制作精確的銅窗底墊。它的主要特點是選擇自由度大，進行激光照射時可選擇另按內層底墊的程序打孔。這種方法有效地避免了由于銅窗直徑與孔徑相同所引起的偏置，從而使激光點不能對準正窗口，從而導致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或殘孔。安徽激光器

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