在碳化硅晶圓切割領域，由于材料硬度高達莫氏9級，傳統(tǒng)切割方式面臨效率低下的問題。中清航科創(chuàng)新采用超高壓水射流與激光復合切割技術，利用水射流的冷卻作用抑制激光切割產生的熱影響區(qū)，同時借助激光的預熱作用降低材料強度，使碳化硅晶圓的切割效率提升3倍，熱影響區(qū)控制在10μm以內。晶圓切割設備的可靠性是大規(guī)模生產的基礎保障。中清航科對中心部件進行嚴格的可靠性測試，其中激光振蕩器經過10萬小時連續(xù)運行驗證，機械導軌的壽命測試達到200萬次往復運動無故障。設備平均無故障時間（MTBF）突破1000小時，遠超行業(yè)800小時的平均水平，為客戶提供穩(wěn)定可靠的生產保障。MEMS器件晶圓切割中清航科特殊保護層技術，結構完整率99%。衢州sic晶圓切割廠

針對航天電子需求，中清航科在屏蔽室內完成切割（防宇宙射線干擾）。采用低介電刀具材料，避免靜電放電損傷，芯片單粒子翻轉率降至10??errors/bit-day。中清航科提供IATF16949認證切割參數(shù)包：包含200+測試報告（剪切力/熱沖擊/HAST等），加速客戶車規(guī)芯片認證流程，平均縮短上市時間6個月。中清航科殘渣圖譜數(shù)據(jù)庫：通過質譜分析切割碎屑成分，溯源工藝缺陷。每年幫助客戶解決15%的隱性良率問題，挽回損失超$300萬。中清航科氣動懸浮切割頭：根據(jù)晶圓厚度自動調節(jié)壓力（范圍0.1-5N，精度±0.01N）。OLED顯示面板切割良率提升至99.8%，邊緣像素損壞率<0.01%。無錫碳化硅陶瓷晶圓切割測試中清航科推出切割機租賃服務，降低客戶初期投入成本。

8英寸晶圓在功率半導體、MEMS等領域仍占據(jù)重要市場份額，中清航科針對這類成熟制程開發(fā)的切割設備，兼顧效率與性價比。設備采用雙主軸并行切割設計，每小時可加工40片8英寸晶圓，且通過優(yōu)化機械結構降低振動噪聲至65分貝以下，為車間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)境，深受中小半導體企業(yè)的青睞。晶圓切割工藝的數(shù)字化轉型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設備內置工業(yè)物聯(lián)網模塊，可實時采集切割壓力、溫度、速度等100余項工藝參數(shù)，通過邊緣計算節(jié)點進行實時分析，生成工藝優(yōu)化建議。客戶可通過云端平臺查看生產報表與趨勢分析，實現(xiàn)基于數(shù)據(jù)的精細化管理。

隨著芯片輕薄化趨勢，中清航科DBG（先切割后研磨）與SDBG（半切割后研磨）設備采用漸進式壓力控制技術，切割階段只切入晶圓1/3厚度，經背面研磨后自動分離。該方案將100μm以下晶圓碎片率降至0.01%，已應用于5G射頻模塊量產線。冷卻液純度直接影響切割良率。中清航科納米級過濾系統(tǒng)可去除99.99%的0.1μm顆粒，配合自主研發(fā)的抗靜電添加劑，減少硅屑附著造成的短路風險。智能溫控模塊維持液體粘度穩(wěn)定，延長刀片壽命200小時以上呢。切割粉塵在線監(jiān)測中清航科傳感器精度達0.01μm顆粒物檢測。

當晶圓切割面臨復雜圖形切割需求時，中清航科的矢量切割技術展現(xiàn)出獨特優(yōu)勢。該技術可精確識別任意復雜切割路徑，包括圓弧、曲線及異形圖案，通過分段速度調節(jié)確保每一段切割的平滑過渡，切割軌跡誤差控制在2μm以內。目前已成功應用于光電子芯片的精密切割，為AR/VR設備中心器件生產提供有力支持。半導體生產車間的設備協(xié)同運作對通信兼容性要求極高，中清航科的晶圓切割設備多方面支持OPCUA通信協(xié)議，可與主流MES系統(tǒng)實現(xiàn)實時數(shù)據(jù)交互。通過標準化數(shù)據(jù)接口，將切割進度、設備狀態(tài)、質量數(shù)據(jù)等信息實時上傳至管理平臺，助力客戶實現(xiàn)生產過程的數(shù)字化管控與智能決策。中清航科切割耗材全球供應鏈，保障客戶生產連續(xù)性。鎮(zhèn)江芯片晶圓切割測試

中清航科切割液回收系統(tǒng)降低耗材成本35%，符合綠色制造。衢州sic晶圓切割廠

針對高粘度晶圓切割液的回收處理，中清航科研發(fā)了離心式過濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過三級過濾工藝，可去除切割液中99.9%的固體顆粒雜質，使切割液循環(huán)利用率提升至80%以上，不只降低耗材成本，還減少廢液排放。同時配備濃度自動調節(jié)功能，確保切割液性能穩(wěn)定，保障切割質量一致性。在晶圓切割設備的維護便捷性設計上，中清航科秉持“易維護”理念。設備關鍵部件采用模塊化設計，更換激光頭、切割刀片等中心組件只需15分鐘，較傳統(tǒng)設備縮短70%維護時間。同時配備維護指引系統(tǒng)，通過AR技術直觀展示維護步驟，降低對專業(yè)維護人員的依賴，減少客戶運維壓力。衢州sic晶圓切割廠