隨著半導體市場需求的快速變化，產品迭代周期不斷縮短，這對晶圓切割的快速響應能力提出更高要求。中清航科建立了快速工藝開發團隊，承諾在收到客戶新樣品后 72 小時內完成切割工藝驗證，并提供工藝報告與樣品測試數據，幫助客戶加速新產品研發進程，搶占市場先機。晶圓切割設備的操作安全性至關重要，中清航科嚴格遵循 SEMI S2 安全標準，在設備設計中融入多重安全保護機制。包括激光安全聯鎖、急停按鈕、防護門檢測、過載保護等，同時配備安全警示系統，實時顯示設備運行狀態與潛在風險，確保操作人員的人身安全與設備的安全運行。晶圓切割機預防性維護中清航科定制套餐，設備壽命延長5年。蘇州12英寸半導體晶圓切割

中清航科注重與科研機構的合作創新，與國內多所高校共建半導體切割技術聯合實驗室。圍繞晶圓切割的前沿技術開展研究，如原子層切割、超高頻激光切割等，已申請發明專利 50 余項，其中 “一種基于飛秒激光的晶圓超精細切割方法” 獲得國家發明專利金獎，推動行業技術進步。晶圓切割設備的軟件系統是其智能化的中心，中清航科自主開發了切割控制軟件，具備友好的人機交互界面與強大的功能。支持多種格式的晶圓版圖文件導入，可自動生成切割路徑，同時提供離線編程功能，可在不影響設備運行的情況下完成新程序的編制與模擬，提高設備利用率。金華砷化鎵晶圓切割劃片中清航科推出切割工藝保險服務，承保因切割導致的晶圓損失。

中清航科飛秒激光雙光子聚合技術：在PDMS基板上直寫三維微流道（最小寬度15μm），切割精度達±0.25μm，替代傳統光刻工藝，開發成本降低80%。中清航科推出“切割即服務”（DaaS）：客戶按實際切割面積付費（$0.35/英寸），包含設備/耗材/維護全包。初始投入降低90%，產能彈性伸縮±50%，適配訂單波動。中清航科共聚焦激光測距系統實時監測切割深度（分辨率0.1μm），閉環控制切入量。將150μm晶圓切割深度誤差壓縮至±2μm，背面研磨時間減少40%。

為幫助客戶應對半導體行業的技術人才短缺問題，中清航科推出 “設備 + 培訓” 打包服務。購買設備的客戶可獲得技術培訓名額，培訓內容涵蓋設備操作、工藝調試、故障排除等，培訓結束后頒發認證證書。同時提供在線技術支持平臺，隨時解答客戶在生產中遇到的技術問題。隨著半導體器件向微型化、集成化發展，晶圓切割的精度要求將持續提升。中清航科已啟動亞微米級切割技術的產業化項目，計劃通過引入更高精度的運動控制系統與更短波長的激光源，實現 500nm 以內的切割精度，為量子芯片、生物傳感器等前沿領域的發展提供關鍵制造設備支持。中清航科全自動切割線配備AI視覺定位，精度達±1.5μm。

中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型，預測切割溫度場/應力場分布。輸入材料參數即可優化工藝，客戶開發周期縮短70%，試錯成本下降$50萬/項目。針對MEMS陀螺儀等真空封裝器件，中清航科提供10??Pa級真空切割艙。消除空氣阻尼影響，切割后器件Q值保持率>99.8%，良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圓MAP圖，自動規劃切割路徑與順序。材料利用率提升7%，設備空閑率下降至8%，支持動態插單響應（切換時間<5分鐘）。中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認證，量產經驗足。淮安砷化鎵晶圓切割劃片廠

復合材料晶圓切割選中清航科多工藝集成設備，兼容激光與刀片。蘇州12英寸半導體晶圓切割

中清航科創新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案：先以激光在晶圓表面形成引導槽，再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率，解決化合物半導體（如GaAs、SiC）的脆性開裂問題，加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯動補償系統，通過實時監測晶圓形變動態調整切割參數。搭配吸附托盤，將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內，支持3D NAND多層堆疊結構加工。蘇州12英寸半導體晶圓切割