1、派瑞林真空鍍膜材料的方法:
(1)真空蒸發(fā):清潔待涂覆的基材,并將其放入涂覆室中。抽空后,將薄膜加熱到高溫,使蒸汽達到13.3帕左右,使蒸汽分子飛向襯底表面,凝結(jié)成薄膜。
(2)陰極濺射鍍膜:將待鍍膜基片對著陰極放置,向真空室通入惰性氣體(如氬氣),保持壓力在1.33~13.3帕左右,然后將陰極與2000伏DC電源連接,然后激發(fā)輝光放電。帶正電荷的氬離子撞擊陰極發(fā)射原子,濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。
(3)化學(xué)氣相沉積:通過選定的金屬化合物或有機化合物的熱分解獲得沉積薄膜的過程。
(4)離子鍍:本質(zhì)上,離子鍍是真空蒸發(fā)和陰極濺射的有機結(jié)合,兼具兩者的工藝特點。